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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2005-01-17 14:05 60MHz帯疎結合マイクロストリップ方向性結合器 ○平島隆洋・藤井亮一（中国職能開発大）・藤井修逸（アドテックプラズマテクノロジー）・田中 聡（福山大） エレソ技報アーカイブへのリンク：  ED2004-208 MW2004-215 |
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| 抄録 | （和） | 筆者らは，半導体製造用高周波電源の出力評価に利用される13.56MHz帯マイクロストリップ疎結合方向性結合器を提案してきた．本方向性結合器は，結合部分の線路長が約1/250波長と非常に小型で，かつ40dB以上の大きな方向性を有している．今回は，近年多く利用されるようになってきた60MHz帯半導体製造用高周波電源に対応したマイクロストリップ疎結合方向性結合器を設計・製作したので報告する．試作器は，結合度43.0dBのときに，リターンロス35.1dB，インサーションロス0.0072dB，方向性38.6dBという良好な結果を得ている． |
| （英） | We proposed the 13.56 MHz band microstrip directional coupler used for the power measurement of the RF plasma generator for the semiconductor manufactured. The part of coupling section is compact size of about 1/250 wavelength, and this coupler has a high directivity of over 40 dB. In this report, a microstrip directional coupler corresponding to the 60 MHz band generator which comes to be used well recently. This coupler attains the good result of a return loss of 35.1 dB, an insertion loss of 0.0072 dB, a directivity of 38.6 dB at 43.0 dB coupled. | |
| キーワード | （和） | RF帯方向性結合器 / 疎結合 / エッジ結合マイクロストリップ線路 / / / / / |
| （英） | RF Directional Coupler / Loosely-Coupled / Edge-Coupled Microstrip Line / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 104, no. 551, MW2004-215, pp. 27-32, 2005年1月. | |
| 資料番号 | MW2004-215 | |
| 発行日 | 2005-01-10 (ED, MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2004-208 MW2004-215 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW ED |
| 開催期間 | 2005-01-17 - 2005-01-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 超高速・超高周波デバイスおよびIC／一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2005-01-MW-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 60MHz帯疎結合マイクロストリップ方向性結合器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 60-MHz-Band Loosely-Coupled Microstrip Directional Coupler |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | RF帯方向性結合器 / RF Directional Coupler |
| キーワード(2)（和/英） | 疎結合 / Loosely-Coupled |
| キーワード(3)（和/英） | エッジ結合マイクロストリップ線路 / Edge-Coupled Microstrip Line |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平島 隆洋 / Takahiro Hirashima / ヒラシマ タカヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 中国職業能力開発大学校 (略称： 中国職能開発大) Chugoku Polytechnic College (略称： Chugoku Polytechnic College) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 亮一 / Ryoichi Fujii / フジイ リョウイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 中国職業能力開発大学校附属福山職業能力開発短期大学校 (略称： 中国職能開発大) Fukuyama Polytechnic College (略称： Fukuyama Polytechnic College) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 修逸 / Shuitsu Fujii / フジイ シュウイツ |
| 第3著者 所属（和/英） | 株式会社アドテックプラズマテクノロジー (略称： アドテックプラズマテクノロジー) ADTEC Plasma Technology Co. Ltd. (略称： ADTEC Plasma Technology) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 聡 / Satoshi Tanaka / タナカ サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 福山大学 (略称： 福山大) Fukuyama University (略称： Fukuyama Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2005-01-17 14:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | ED2004-208, MW2004-215 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | no.549(ED), no.551(MW) |
| ページ範囲 | pp.27-32 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2005-01-10 (ED, MW) |
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