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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2005-04-22 15:20 MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 ～ 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出 ～ ○島津貴之・片山 誠（住友電工）・磯野吉正（立命館大） エレソ技報アーカイブへのリンク：  CPM2005-6 OPE2005-6 |
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| 抄録 | （和） | MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)の構造設計基準を検証するために、単結晶シリコン製の片持梁を用いて疲労試験を実施し、FIT数の導出を試みた。一般的に、MEMSの疲労特性に関しては、その試験用を目的とした試験片による実証は数多く行われているものの、実際のデバイスを用いての試験は、あまり行われていない。今回我々は、自社で開発している光MEMSデバイスである光スイッチ(SW)や、可変光減衰器(VOA)に用いているMEMS製アクチュエータで加速劣化試験を行い、デバイスの総動作時間を仮定する事で、デバイス故障の指標であるFIT数(λ)を導出した。本試験で得られたFIT数より、採用した片持梁方式が、構造体としてMEMSの信頼性が高い事を証明した。 |
| （英） | This paper focuses on the fatigue characteristics of the single crystal silicon (SC-Si) cantilever in relation with the critical design of micro electro-mechanical systems (MEMS). Development of MEMS actuators for optical communication usage is carried out successfully, for example, in optical switches and variable optical attenuators (VOA). In those devices, fatigue characteristics of the MEMS structure are crucial to its practical application. However, fatigue tests using real structures have not been carried out well. In this research, the fatigue life has been inspected at the actual device, under actual usage conditions for the first time. We obtained fracture rate λ from experimental results, and the value of Failure in Time (FIT) λ was about 0.3 FIT. This result indicates that these MEMS devices having enough reliability for practical usage. | |
| キーワード | （和） | シリコン片持梁 / 疲労破壊 / S-N曲線 / ワイブル分布 / FIT数 / / / |
| （英） | Silicon-cantilever / Fatigue / S-N curve / Weibull distribution / FIT Number / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 105, no. 26, R2005-6, pp. 29-32, 2005年4月. | |
| 資料番号 | R2005-6 | |
| 発行日 | 2005-04-15 (R, CPM, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2005-6 OPE2005-6 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE R CPM |
| 開催期間 | 2005-04-22 - 2005-04-22 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光部品の実装・信頼性、一般 |
| テーマ（英） | Packaging and reliability of optical componetns, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | R |
| 会議コード | 2005-04-OPE-R-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 |
| サブタイトル（和） | 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出 |
| タイトル（英） | Fatigue characteristics of the Si moveable comb inserted into MEMS optical devices |
| サブタイトル（英） | * |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン片持梁 / Silicon-cantilever |
| キーワード(2)（和/英） | 疲労破壊 / Fatigue |
| キーワード(3)（和/英） | S-N曲線 / S-N curve |
| キーワード(4)（和/英） | ワイブル分布 / Weibull distribution |
| キーワード(5)（和/英） | FIT数 / FIT Number |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島津 貴之 / Takayuki Shimazu / シマズ タカユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 片山 誠 / Makoto Katayama / カタヤマ マコト |
| 第2著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 磯野 吉正 / Yoshitada Isono / イソノ ヨシタダ |
| 第3著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Rits) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2005-04-22 15:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | R |
| 資料番号 | R2005-6, CPM2005-6, OPE2005-6 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | no.26(R), no.27(CPM), no.28(OPE) |
| ページ範囲 | pp.29-32 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2005-04-15 (R, CPM, OPE) |
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