講演抄録/キーワード |
講演名 |
2005-08-18 16:20
[パネルディスカッション] サブ50-nm時代の切り札、SOI ~ SOIがBulkに勝てる技術はこれだ! ~ 榎本忠儀(中大)・○道関隆国(NTT)・有本和民(ルネサステクノロジ)・井田次郎(OKI)・一法師隆志(ルネサステクノロジ)・三木和彦(東芝)・山岡雅直(日立)・吉見 信(SOITEC) エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2005-142 ICD2005-81 |
抄録 |
(和) |
(事前公開アブストラクト) SOI技術のパネル討論会 |
(英) |
(Advance abstract in Japanese is available) |
キーワード |
(和) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 105, no. 234, ICD2005-81, pp. 85-90, 2005年8月. |
資料番号 |
ICD2005-81 |
発行日 |
2005-08-11 (SDM, ICD) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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