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講演抄録/キーワード
講演名 2005-12-09 15:40
GaInAsP/InP極微構造の低損傷形成による低電流歪補償量子細線DFBレーザ
三浦幸治タノーム プルームウォンロート西本頼史大平和哉東工大)・八木英樹丸山武男荒井滋久東工大/JSTエレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2005-122
抄録 (和) EB露光、CH4/H2-RIE、及びOMVPEによる埋め込み再成長法を用いて作製したGaInAsP/InP長波長帯歪補償量子細線レーザについてご報告する。自然放出光強度の偏波異方性から、キャリヤの横方向量子閉じ込め効果が細線幅30-40nmと広い場合でも顕著であることを明らかにした。また、上述の作製法を用いて量子細線DFBレーザ (細線幅: 30nm、周期: 240nm) を作製した結果、室温連続動作条件において、1.55μm波長帯における低次元量子構造を用いた半導体レーザとして最小しきい値電流密度動作 (176A/cm2) を達成する共に、良好な単一モード動作(波長: 1542nm、 副モード抑圧比: 50dB)を達成した。 
(英) A GaInAsP/InP long wavelength strain-compensated quantum-wire laser was fabricated by electron beam lithography, CH4/H2-reactive ion etching and organometallic vapor-phase-epitaxial regrowth. The observed polarization anisotropy of spontaneous emission was due to the lateral quantum confinement effect appeared even the wide wire-width (30-40nm). Quantum-wire DFB laser (wire-width of 30 nm, five stacked quantum wires) fabricated by mentioned process has shown the single mode operation (a sub -mode suppression ratio as high as 50 dB) at the lasing wavelength of 1542nm under the room-temperature continuous-wave condition. This Quantum-wire DFB laser has the lowest threshold current density operation (176A/cm2) comparing with other reported low dimensional quantum-well structure semiconductor lasers in the 1.55μm wavelength region.
キーワード (和) 量子細線レーザ / DFBレーザ / GaInAsP/InP / 歪補償量子井戸 / CH4/H2-RIE / OMVPE再成長 / /  
(英) Quantum-Wire Laser / DFB laser / GaInAsP/InP / Strain-Compensated Quantum-Well / CH4/H2-RIE / OMVPE Regrowth / /  
文献情報 信学技報, vol. 105, no. 455, LQE2005-122, pp. 41-44, 2005年12月.
資料番号 LQE2005-122 
発行日 2005-12-02 (LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2005-122

研究会情報
研究会 LQE  
開催期間 2005-12-09 - 2005-12-09 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 半導体レーザ関連技術,及び一般 
テーマ(英) Semiconductor Lasers and Related Technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2005-12-LQE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) GaInAsP/InP極微構造の低損傷形成による低電流歪補償量子細線DFBレーザ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Low-threshold Strain-Compensated Quantum-Wire DFB Lasers by low-damage fabrication processes of GaInAsP/InP ultra-fine structures 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 量子細線レーザ / Quantum-Wire Laser  
キーワード(2)(和/英) DFBレーザ / DFB laser  
キーワード(3)(和/英) GaInAsP/InP / GaInAsP/InP  
キーワード(4)(和/英) 歪補償量子井戸 / Strain-Compensated Quantum-Well  
キーワード(5)(和/英) CH4/H2-RIE / CH4/H2-RIE  
キーワード(6)(和/英) OMVPE再成長 / OMVPE Regrowth  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 幸治 / Koji Miura / ミウラ コウジ
第1著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) タノーム プルームウォンロート / Dhanorm Plumwongrot / タノーム プルームウォンロート
第2著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 西本 頼史 / Yoshifumi Nishimoto / ニシモト ヨシフミ
第3著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 大平 和哉 / Kazuya Ohira / オオヒラ カズヤ
第4著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 八木 英樹 / Hideki Yagi / ヤギ ヒデキ
第5著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大/JST)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 武男 / Takeo Maruyama / マルヤマ タケオ
第6著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大/JST)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒井 滋久 / Shigehisa Arai / アライ シゲヒサ
第7著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大/JST)
Tokyo Institute of Technololgy (略称: Tokyo Inst. Tech.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2005-12-09 15:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 LQE 
資料番号 LQE2005-122 
巻番号(vol) vol.105 
号番号(no) no.455 
ページ範囲 pp.41-44 
ページ数
発行日 2005-12-02 (LQE) 


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