講演抄録/キーワード |
講演名 |
2005-12-09 15:40
GaInAsP/InP極微構造の低損傷形成による低電流歪補償量子細線DFBレーザ ○三浦幸治・タノーム プルームウォンロート・西本頼史・大平和哉(東工大)・八木英樹・丸山武男・荒井滋久(東工大/JST) エレソ技報アーカイブへのリンク:LQE2005-122 |
抄録 |
(和) |
EB露光、CH4/H2-RIE、及びOMVPEによる埋め込み再成長法を用いて作製したGaInAsP/InP長波長帯歪補償量子細線レーザについてご報告する。自然放出光強度の偏波異方性から、キャリヤの横方向量子閉じ込め効果が細線幅30-40nmと広い場合でも顕著であることを明らかにした。また、上述の作製法を用いて量子細線DFBレーザ (細線幅: 30nm、周期: 240nm) を作製した結果、室温連続動作条件において、1.55μm波長帯における低次元量子構造を用いた半導体レーザとして最小しきい値電流密度動作 (176A/cm2) を達成する共に、良好な単一モード動作(波長: 1542nm、 副モード抑圧比: 50dB)を達成した。 |
(英) |
A GaInAsP/InP long wavelength strain-compensated quantum-wire laser was fabricated by electron beam lithography, CH4/H2-reactive ion etching and organometallic vapor-phase-epitaxial regrowth. The observed polarization anisotropy of spontaneous emission was due to the lateral quantum confinement effect appeared even the wide wire-width (30-40nm). Quantum-wire DFB laser (wire-width of 30 nm, five stacked quantum wires) fabricated by mentioned process has shown the single mode operation (a sub -mode suppression ratio as high as 50 dB) at the lasing wavelength of 1542nm under the room-temperature continuous-wave condition. This Quantum-wire DFB laser has the lowest threshold current density operation (176A/cm2) comparing with other reported low dimensional quantum-well structure semiconductor lasers in the 1.55μm wavelength region. |
キーワード |
(和) |
量子細線レーザ / DFBレーザ / GaInAsP/InP / 歪補償量子井戸 / CH4/H2-RIE / OMVPE再成長 / / |
(英) |
Quantum-Wire Laser / DFB laser / GaInAsP/InP / Strain-Compensated Quantum-Well / CH4/H2-RIE / OMVPE Regrowth / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 105, no. 455, LQE2005-122, pp. 41-44, 2005年12月. |
資料番号 |
LQE2005-122 |
発行日 |
2005-12-02 (LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
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