講演抄録/キーワード |
講演名 |
2006-02-01 09:25
中モードサイズを有する実用的SOIリブ導波路の設計,作製と評価 ○武 志剛・中村一彦・本田惣一朗・宇高勝之・江面知彦・徳田正秀・筒井 謙・和田恭雄(早大) エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2005-119 LQE2005-134 |
抄録 |
(和) |
SOI(silicon-on-insulator)基板上リブ導波路は、光集積回路において有用な材料であり、低損失、低偏光依存性、そして作製の容易さなどの利点によりさらに注目を集めている。しかしながら、従来の大モッドサイズのSOIリブ導波路は曲げ損失が大きいという欠点がある。一方、微小なシリコン細線導波路は伝搬損失がまだ大きいという欠点がある。そこで我々は、中モッドサイズのSOIリブ導波路を提案する。解析の結果単一モード条件の下で曲げ半径は従来の大モッドサイズのSOIリブ導波路の10分の1であること。表面ラフネスが同程度の場合、シリコン細線導波路に比べて伝搬損失は少ないことを明らかにした。実際にSOIリブ導波路を作製し、評価を行い,曲げ半径1 mmの単一モード導波路における損失として2 dB/cmを得た。これら結果より、中モッドサイズSOIリブ導波路が光集積回路に最も適した構造であると言える。 |
(英) |
SOI (silicon-on-insulator) wafers became popular platforms for photonic integration. Rib waveguides on the SOI wafers have been attracted more attentions due to the advantages, such as low loss, low polarization-dependence and easy fabrication. However, the conventional SOI rib waveguides with a large mode size suffer from bending loss, and the silicon-wire waveguide with a small mode size from a large transmission loss. Here we give a new design of a SOI rib waveguide with a medium mode size. For single-mode waveguides, the bending radius of the new SOI rib waveguide is 1/10 of that of a conventional SOI rib waveguide with a large mode size. In the case of the same surface roughness, the new SOI rib waveguide has a less transmission loss than the silicon-wire waveguide. We fabricated and evaluated the new SOI rib waveguides. The transmission loss and bending radius of the single-mode waveguide are 2 dB/cm and 1 mm, respectively. These results show that the SOI waveguides with a medium mode size are feasible ones for photonic integrated circuits. |
キーワード |
(和) |
シリコン光導波路 / SOI(silicon-on-insulator)基板 / リブ導波路 / モードサイズ / / / / |
(英) |
Si waveguide / silicon-on-insulator (SOI) substrate / rib waveguide / mode size / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 105, no. 589, OPE2005-119, pp. 7-12, 2006年1月. |
資料番号 |
OPE2005-119 |
発行日 |
2006-01-25 (PN, OFT, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2005-119 LQE2005-134 |
研究会情報 |
研究会 |
LQE PN OPE OFT EMT |
開催期間 |
2006-01-31 - 2006-02-02 |
開催地(和) |
神戸大学 |
開催地(英) |
Kobe Univ. |
テーマ(和) |
フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般 |
テーマ(英) |
Photonic integrated circuits and devices, swtiching, PLC, fiber devices, waveguide analysis, and others |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
OPE |
会議コード |
2006-01-LQE-PN-OPE-OFT-EMT |
本文の言語 |
英語(日本語タイトルあり) |
タイトル(和) |
中モードサイズを有する実用的SOIリブ導波路の設計,作製と評価 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Design, fabrication and evaluation of feasible SOI rib waveguides with medium mode size |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
シリコン光導波路 / Si waveguide |
キーワード(2)(和/英) |
SOI(silicon-on-insulator)基板 / silicon-on-insulator (SOI) substrate |
キーワード(3)(和/英) |
リブ導波路 / rib waveguide |
キーワード(4)(和/英) |
モードサイズ / mode size |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
武 志剛 / Zhigang Wu / ブ シゴウ |
第1著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
中村 一彦 / Kazuhiko Nakamura / ナカムラ カズヒコ |
第2著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
本田 惣一朗 / Soichiro Honda / ホンダ ソイチロ |
第3著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
宇高 勝之 / Katsuyuki Utaka / ウタカ カツユキ |
第4著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
江面 知彦 / Tomohiko Edura / エヅラ トモヒコ |
第5著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
徳田 正秀 / Masahide Tokuda / トクダ マサヒデ |
第6著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
筒井 謙 / Ken Tsutsui / ツツイ ケン |
第7著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
和田 恭雄 / Yasuo Wada / ワダ ヤスオ |
第8著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2006-02-01 09:25:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
OPE |
資料番号 |
PN2005-71, OFT2005-58, OPE2005-119, LQE2005-134 |
巻番号(vol) |
vol.105 |
号番号(no) |
no.583(PN), no.586(OFT), no.589(OPE), no.592(LQE) |
ページ範囲 |
pp.7-12 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2006-01-25 (PN, OFT, OPE, LQE) |
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