講演抄録/キーワード |
講演名 |
2006-05-19 13:50
高信頼メサ型InAlAsアバランシェフォトダイオード ○渡辺さわき・芝 和宏・水木恵美子・中田武志・牧田紀久夫(NEC) エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2006-9 |
抄録 |
(和) |
アバランシェフォトダイオード(APD)は、ギガビット帯小型受信器のキーデバイスである。近年、光アクセス系においても高感度化に対応するためにAPDの導入が検討されており、素子のさらなる高感度化、低コスト化が期待されている。本背景のもと、我々はメサ型構造を有するAPDに注目した。メサ型APDは単純構造であり、高性能化への設計指針を素子特性に反映させやすい。従来のプレーナ構造で必須な拡散・イオン注入等の煩雑なプロセスを介さないため、量産性、低コスト化に優位である。今回、メサ型InAlAs-APDを試作し、ブレークダウン電圧19.8 V、量子効率80 %(@λ=1.31 ~1.625 µm)、暗電流30 nA(@M=10)、最大帯域11 GHz、利得帯域幅積(GB積)120 GHzと実用的な特性を得た。さらに、180 ℃における高温加速試験において1000時間程度の素子寿命を確認し、素子寿命100万時間以上(@85 ℃)を実現できる見通しが得られた。 |
(英) |
High-speed and high-sensitive avalanche photodiodes (APDs) are key components in high-bit rate optical communications. Recently, the APD is becoming increasingly attractive for access network. We proposed mesa-type InAlAs-APDs. The mesa-type APDs combine high speed performance and good productivity. In this report, we describe the design and performance of mesa –type APDs with high reliability. We have demonstrated a quantum efficiency of 80 % for the wavelength range between 1.31 μm and 1.625 μm, a maximum 3dB-down bandwidth of 11 GHz and gain-bandwidth-product (GB-product) of 120 GHz. A high reliability and robustness under high input power operations are also realized. These properties are suitable for both metropolitan area network and access network. |
キーワード |
(和) |
受光素子 / メサ型 / アバランシェフォトダイオード / 高信頼 / / / / |
(英) |
mesa / avalanche / APD / photodiode / receiver / high reliability / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 54, OPE2006-9, pp. 11-15, 2006年5月. |
資料番号 |
OPE2006-9 |
発行日 |
2006-05-12 (OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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