講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-06-19 17:00
TiO2/Pt界面の化学結合および電子状態評価 ○後藤優太・貫目大介・大田晃生・尉 国浜・村上秀樹・東 清一郎・宮崎誠一(広島大) SDM2009-44 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-44 |
抄録 |
(和) |
TiO2を用いた抵抗変化型メモリの動作原理機構解明に向けた取り組みとして、TiO2/Pt界面の酸化・還元反応に着目し、Ti(DPM)4錯体を用いたMOCVDにより形成したTiO2/Pt構造において、熱処理およびO2プラズマ処理がTiO2/Pt界面の化学結合状態に与える影響をX線光電子分光法により評価した。Pt膜上へのTiO2堆積後、O2雰囲気中熱処理では顕著な酸化反応は認められず、リモートO2プラズマ処理ではTiO2/Pt界面で酸化反応が進行し、PtOxが形成されることが分かった。このPtOxは、400ºC以上のN2雰囲気熱処理により還元し、TiO2膜中への顕著なPt原子の混入は認められないことから、Pt拡散を伴わない酸素脱離の進行が示唆された。 |
(英) |
We focused on the interfacial reaction between TiO2 and Pt to gain a better understanding of the mechanism of resistive switching in TiO2-based Re-RAMs . A TiO2 layer was formed on Pt by MOCVD using Ti(DPM)4 precursors, and the impact of thermal anneal and O2 plasma treatment on chemical binding features near the TiO2/Pt interface was examined by X-ray photoelectron spectroscopy. Core-line spectra show no oxidation reaction at TiO2/Pt interface by O2 anneal in atmosphere pressure even at 1000ºC. On the other hand, an ultra thin PtOx layer was formed at the interface by remote O2 plasma treatment. And, the PtOx layer was reduced by thermal anneal over 400ºC in N2 ambience. Since no incorporation of Pt in TiO2 was confirmed, the result indicates oxygen desorption of O2 molecules from PtOx. |
キーワード |
(和) |
TiO2 / 化学結合状態 / 抵抗変化型メモリ / X線光電子分光分析 / / / / |
(英) |
TiO2 / Chemical Bonding Features / Resistance Random Access Memory / X-ray Photoelectron Spectroscopy / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 87, SDM2009-44, pp. 99-103, 2009年6月. |
資料番号 |
SDM2009-44 |
発行日 |
2009-06-12 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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