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講演抄録/キーワード
講演名 2009-07-17 13:00
チタン箔に水熱合成PZTを成膜した小型メンブレン型ハイドロホンの試作
吉村一穂川島徳道桐蔭横浜大)・内田武吉菊池恒男産総研)・黒澤 実東工大)・竹内真一桐蔭横浜大US2009-22
抄録 (和) 水熱合成法によるPZT多結晶膜は広帯域な周波数特性を持つ超音波プローブが実現可能な上に基材がチタンであれば複雑な形状や微小なものにも成膜が可能である。これに着目し、当研究室では微小なチタンワイヤ端面にPZT多結晶膜の成膜を行い、小型ニードル型ハイドロホンの開発とその評価を行ってきた。しかし、従来型ハイドロホンは受波感度の周波数特性に経方向の共振が原因と思われる不要なピークやディップが大きく見られた。また強力超音波に対しては構造上、すぐに壊れてしまうと考えられる。本研究では周波数特性の改善及び、HIFU(高密度焦点式超音波)装置や超音波洗浄器等の強力超音波の測定でも壊れないことを目的とした小型メンブレン型ハイドロホンを試作したので報告する。 
(英) Our hydrothermally synthesized PZT poly-crystalline film can be deposited on a tiny or complex-shaped titanium substrate. Furthermore, it is thought that ultrasound probes with ultrawide frequency characteristics of their receiving sensitivity can be fabricated with the hydrothermally synthesized PZT poly-crystalline film. We fabricated the miniature needle-type hydrophones with a small aperture by deposition of a hydrothermally synthesized poly-crystalline PZT film on thin titanium wires and measured their performance. However our needle-type hydrophones can not measure for high power ultrasound. We fabricated miniature membrane-type hydrophone with by deposition of a hydrothermally synthesized PZT poly-crystalline film on titanium membrane for measurement of high power ultrasound.
キーワード (和) 水熱合成法 / PZT多結晶膜 / メンブレン型ハイドロホン / HIFU / 強力超音波 / / /  
(英) hydrothermal method / PZT poly-crystalline film / Membrane-type hydrophone / High-intensity focused ultrasound / High power ultrasound / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 135, US2009-22, pp. 1-6, 2009年7月.
資料番号 US2009-22 
発行日 2009-07-10 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2009-22

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2009-07-17 - 2009-07-17 
開催地(和) 桐蔭横浜大学 
開催地(英) Toin University of Yokohama 
テーマ(和) 一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2009-07-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) チタン箔に水熱合成PZTを成膜した小型メンブレン型ハイドロホンの試作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Trial fabrication of miniature hydrophone with hydrothermally synthesized PZT film deposited on titanium membrane 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 水熱合成法 / hydrothermal method  
キーワード(2)(和/英) PZT多結晶膜 / PZT poly-crystalline film  
キーワード(3)(和/英) メンブレン型ハイドロホン / Membrane-type hydrophone  
キーワード(4)(和/英) HIFU / High-intensity focused ultrasound  
キーワード(5)(和/英) 強力超音波 / High power ultrasound  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉村 一穂 / Kazuho Yoshimura / ヨシムラ カズホ
第1著者 所属(和/英) 桐蔭横浜大学 (略称: 桐蔭横浜大)
Toin University of Yokohama (略称: Toin Univ. of Yokohama.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 川島 徳道 / Norimichi Kawashima / カワシマ ノリミチ
第2著者 所属(和/英) 桐蔭横浜大学 (略称: 桐蔭横浜大)
Toin University of Yokohama (略称: Toin Univ. of Yokohama.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 内田 武吉 / Takeyoshi Uchida / ウチダ タケヨシ
第3著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 菊池 恒男 / Tsuneo Kikuchi / キクチ ツネオ
第4著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒澤 実 / Minoru Kurosawa / クロサワ ミノル
第5著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 真一 / Shinichi Takeuchi /
第6著者 所属(和/英) 桐蔭横浜大学 (略称: 桐蔭横浜大)
Toin University of Yokohama (略称: Toin Univ. of Yokohama.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-07-17 13:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2009-22 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.135 
ページ範囲 pp.1-6 
ページ数
発行日 2009-07-10 (US) 


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