講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-10-23 10:15
アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作 ○榊原陽一・亀井利浩・糸賀恵美子・岡野 誠・金高健二・庄司雄哉・森 雅彦(産総研) OCS2009-66 OPE2009-132 LQE2009-91 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-132 LQE2009-91 |
抄録 |
(和) |
アモルファスシリコンは、薄膜堆積を繰り返すことで、立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では、水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し、i線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し、アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。 |
(英) |
With repeated depositions of amorphous silicon thin layers three-dimensional optical wiring is possible in principle. In this work we investigated the optical properties of the hydrogenated amorphous thin film at the optical telecommunication wavelengths from optical absorption and refractive index. We also investigated the fabrication ability of wire waveguides made of the amorphous silicon with an i-line stepper and a vertical directional coupler. |
キーワード |
(和) |
アモルファスシリコン / 導波路 / 積層型方向性結合器 / / / / / |
(英) |
Amorphous Silicon / Waveguide / Vertical Directional Coupler / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 244, OPE2009-132, pp. 125-129, 2009年10月. |
資料番号 |
OPE2009-132 |
発行日 |
2009-10-15 (OCS, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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