お知らせ
2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ
技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ
電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW
参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
トップに戻る
前のページに戻る
[Japanese]
/
[English]
講演抄録/キーワード
講演名
2009-10-30 10:50
スパッタ法によるSrAl2O4薄膜の高速堆積法の検討
○
纐纈正和
・
久野敬史
・
齋藤 稔
・
清水英彦
・
岩野春男
・
川上貴浩
・
福嶋康夫
・
永田向太郎
(
新潟大
)
CPM2009-100
エレソ技報アーカイブへのリンク:
CPM2009-100
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
/ / / / / / /
(英)
/ / / / / / /
文献情報
信学技報, vol. 109, no. 256, CPM2009-100, pp. 53-57, 2009年10月.
資料番号
CPM2009-100
発行日
2009-10-22 (CPM)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
CPM2009-100
エレソ技報アーカイブへのリンク:
CPM2009-100
研究会情報
研究会
CPM
開催期間
2009-10-29 - 2009-10-30
開催地(和)
富山県立大学
開催地(英)
Toyama Prefectural University
テーマ(和)
薄膜プロセス・材料、一般
テーマ(英)
Process of Thin Film formation and Materials, etc.
講演論文情報の詳細
申込み研究会
CPM
会議コード
2009-10-CPM
本文の言語
日本語
タイトル(和)
スパッタ法によるSrAl2O4薄膜の高速堆積法の検討
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Examination of high speed deposition method for SrAl2O4 thin films by sputtering method
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
/
キーワード(2)(和/英)
/
キーワード(3)(和/英)
/
キーワード(4)(和/英)
/
キーワード(5)(和/英)
/
キーワード(6)(和/英)
/
キーワード(7)(和/英)
/
キーワード(8)(和/英)
/
第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
纐纈 正和
/
Masakazu Koketsu
/
コウケツ マサカズ
第1著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
久野 敬史
/
Takashi Kuno
/
クノ タカシ
第2著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
齋藤 稔
/
Minoru Saito
/
サイトウ ミノル
第3著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
清水 英彦
/
Hidehiko Shimizu
/
シミズ ヒデヒコ
第4著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
岩野 春男
/
Haruo Iwano
/
イワノ ハルオ
第5著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
川上 貴浩
/
Takahiro Kawakami
/
カワカミ タカヒロ
第6著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
福嶋 康夫
/
Yasuo Fukushima
/
フクシマ ヤスオ
第7著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
永田 向太郎
/
Kotaro Nagata
/
ナガタ コウタロウ
第8著者 所属(和/英)
新潟大学
(略称:
新潟大
)
Niigata University
(略称:
Niigata Univ.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第9著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第10著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2009-10-30 10:50:00
発表時間
25分
申込先研究会
CPM
資料番号
CPM2009-100
巻番号(vol)
vol.109
号番号(no)
no.256
ページ範囲
pp.53-57
ページ数
5
発行日
2009-10-22 (CPM)
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]
[電子情報通信学会ホームページ]
IEICE / 電子情報通信学会