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| 講演名 | 2011-07-21 17:35 対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討 ○平野拓一・岡田健一・広川二郎・安藤 真（東工大）  MW2011-52 OPE2011-39 EST2011-38 MWP2011-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2011-52 OPE2011-39 EST2011-38 MWP2011-20 |
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| 抄録 | （和） | オンチップアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。本稿では対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングについて検討する。今回検討する対称性を有する被測定回路は左右のパッド中心を結ぶ線を含む垂直面に関して対称な構造をしていると仮定する。励振部はパッドのグランド-シグナル間電圧源励振モデルを用いた。パッド部を含めて、電磁界解析結果は測定結果とよく一致した。電磁界シミュレーションでプローブの位置ずれの影響を検討し、影響は非常に小さいことがわかった。 |
| （英） | On-chip analog RF circuits are measured using GSG probes by contacting them onto pads. Electromagnetic simulation modeling including pads is sometimes necessary. Electromagnetic simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit is investigated in this report. Excitation is modeled by voltage source between the ground and signal pads. Simulated results agreed very well with the measured ones. It is obtained from the simulated result that the effect of misalignment of probes is negligible. | |
| キーワード | （和） | 電磁界シミュレーションモデリング / GSGプローブ / パッド / オンウェーハ測定 / ミリ波 / CMOS / 対称 / |
| （英） | Electromagnetic Simulation Modeling / GSG Probe / Pad / On-Wafer Measurement / Millimeter-Wave / CMOS / Symmetric / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 149, EST2011-38, pp. 85-90, 2011年7月. | |
| 資料番号 | EST2011-38 | |
| 発行日 | 2011-07-14 (MW, OPE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2011-52 OPE2011-39 EST2011-38 MWP2011-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2011-52 OPE2011-39 EST2011-38 MWP2011-20 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE MW MWP EMT EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2011-07-21 - 2011-07-22 |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | マイクロ波フォトニクス技術，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EST |
| 会議コード | 2011-07-OPE-MW-MWP-EMT-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study of EM Simulation Modeling for Excitations using GSG Pads with Symmetric Circuit in On-Wafer Measurement |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電磁界シミュレーションモデリング / Electromagnetic Simulation Modeling |
| キーワード(2)（和/英） | GSGプローブ / GSG Probe |
| キーワード(3)（和/英） | パッド / Pad |
| キーワード(4)（和/英） | オンウェーハ測定 / On-Wafer Measurement |
| キーワード(5)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-Wave |
| キーワード(6)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(7)（和/英） | 対称 / Symmetric |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平野 拓一 / Takuichi Hirano / ヒラノ タクイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 健一 / Kenichi Okada / オカダ ケンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 広川 二郎 / Jiro Hirokawa / ヒロカワ ジロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安藤 真 / Makoto Ando / アンドウ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-07-21 17:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EST |
| 資料番号 | MW2011-52, OPE2011-39, EST2011-38, MWP2011-20 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.147(MW), no.148(OPE), no.149(EST), no.150(MWP) |
| ページ範囲 | pp.85-90 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-07-14 (MW, OPE, EST, MWP) |
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