講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-08-10 14:15
SiC層中に埋め込まれたGe・SiCドットの発光特性 大谷孝史・姉崎 豊・浅野 翔・加藤有行(長岡技科大)・成田 克(山形大)・中澤日出樹(弘前大)・加藤孝弘・○安井寛治(長岡技科大) CPM2011-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2011-59 |
抄録 |
(和) |
Si基板上へガスソースMBE法によりモノメチルゲルマン(MMGe)を用いてSi c(4×4)構造形成後, Ge, SiCナノドット形成を行った。形成したドット層に対して走査型トンネル顕微鏡(STM)測定を行うとともにモノメチルシラン(MMSi)を用いてSiCキャップ層を形成した。さらにキャップ層を形成したGe•SiCドット層からの発光スペクトルを測定しその特性を考察した. |
(英) |
Ge and SiC nanodots were formed on Si(001) 3˚ off substrates after the formation of Si c(4x4) structure using monomethylgermane (MMGe). Surface structure of the Ge and SiC nanodots was measured by scanning tunneling microscopy (STM). SiC capping layer was formed on the Ge, SiC dots for various conditions and photoluminescence spectra from the Ge, SiC dot layer capped with the SiC layer were measured. |
キーワード |
(和) |
Ge / SiC / ナノドット / モノメチルゲルマン / 走査型トンネル顕微鏡 / フォトルミネッセンス / / |
(英) |
Ge / SiC / nano-dot / monomethylgermane / STM / PL / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 176, CPM2011-59, pp. 15-20, 2011年8月. |
資料番号 |
CPM2011-59 |
発行日 |
2011-08-03 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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