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講演抄録/キーワード
講演名 2011-08-10 14:15
SiC層中に埋め込まれたGe・SiCドットの発光特性
大谷孝史姉崎 豊浅野 翔加藤有行長岡技科大)・成田 克山形大)・中澤日出樹弘前大)・加藤孝弘・○安井寛治長岡技科大CPM2011-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2011-59
抄録 (和) Si基板上へガスソースMBE法によりモノメチルゲルマン(MMGe)を用いてSi c(4×4)構造形成後, Ge, SiCナノドット形成を行った。形成したドット層に対して走査型トンネル顕微鏡(STM)測定を行うとともにモノメチルシラン(MMSi)を用いてSiCキャップ層を形成した。さらにキャップ層を形成したGe•SiCドット層からの発光スペクトルを測定しその特性を考察した. 
(英) Ge and SiC nanodots were formed on Si(001) 3˚ off substrates after the formation of Si c(4x4) structure using monomethylgermane (MMGe). Surface structure of the Ge and SiC nanodots was measured by scanning tunneling microscopy (STM). SiC capping layer was formed on the Ge, SiC dots for various conditions and photoluminescence spectra from the Ge, SiC dot layer capped with the SiC layer were measured.
キーワード (和) Ge / SiC / ナノドット / モノメチルゲルマン / 走査型トンネル顕微鏡 / フォトルミネッセンス / /  
(英) Ge / SiC / nano-dot / monomethylgermane / STM / PL / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 176, CPM2011-59, pp. 15-20, 2011年8月.
資料番号 CPM2011-59 
発行日 2011-08-03 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2011-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2011-59

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2011-08-10 - 2011-08-11 
開催地(和) 弘前大学 文京町キャンパス 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2011-08-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) SiC層中に埋め込まれたGe・SiCドットの発光特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Photoluminescence characteristics of Ge, SiC nanodots capped by SiC layer 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Ge / Ge  
キーワード(2)(和/英) SiC / SiC  
キーワード(3)(和/英) ナノドット / nano-dot  
キーワード(4)(和/英) モノメチルゲルマン / monomethylgermane  
キーワード(5)(和/英) 走査型トンネル顕微鏡 / STM  
キーワード(6)(和/英) フォトルミネッセンス / PL  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 大谷 孝史 / Takashi Otani / オオタニ タカシ
第1著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 姉崎 豊 / Yutaka Anezaki / アネザキ ユタカ
第2著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 浅野 翔 / Sho Asano / アサノ ショウ
第3著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 有行 / Ariyuki Kato / カトウ アリユキ
第4著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 成田 克 / Yuzuru Narita / ナリタ ユズル
第5著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 日出樹 / Hideki Nakazawa / ナカザワ ヒデキ
第6著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 孝弘 / Takahiro Kato / カトウ タカヒロ
第7著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ
第8著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaok University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
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講演者 第8著者 
発表日時 2011-08-10 14:15:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2011-59 
巻番号(vol) vol.111 
号番号(no) no.176 
ページ範囲 pp.15-20 
ページ数
発行日 2011-08-03 (CPM) 


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