講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-02-04 13:10
原子移動型スイッチを使ったスマート配線技術と低電力再構成回路への応用 ○多田宗弘・阪本利司・宮村 信・伴野直樹・岡本浩一郎・井口憲幸・波田博光(超低電圧デバイス技研組合) SDM2012-152 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2012-152 |
抄録 |
(和) |
多層配線のスケーリング則が限界に達しつつある今、多層配線中に機能素子(バックエンドデバイス)を搭載することで、微細化することなくULSIのエネルギー効率を改善することが期待されている。本稿では、オン/オフ比に優れる原子移動型スイッチを用いることで、ロジック信号の伝搬先の変更を布線論理にて行うスマート配線技術について説明し、その信頼性の改善手法および低電力再構成可能回路への応用について述べる。 |
(英) |
Multi-level interconnect technology in ULSI is now facing the difficulty of the scaling limit. “BEOL devices” having a new functionality embedded in Cu-BEOL have much attention to improve the ULSI power efficiency without the conventional scaling. In this work, we focus on smart interconnect technology using Atom switch as nonvolatile, intelligent router, applicable for the low power programmable logic device with a hard-wired architecture. The improvement in the ON and OFF state reliabilities of Atom switch is discussed with the view point of routing signal application. |
キーワード |
(和) |
Cu配線 / 原子スイッチ / バックエンドデバイス / 不揮発 / 低電力 / プログラマブルロジック / / |
(英) |
Cu-BEOL / Atom switch / BEOL devices / nonvolatile / low power / programmable logic device(PLD) / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 427, SDM2012-152, pp. 9-14, 2013年2月. |
資料番号 |
SDM2012-152 |
発行日 |
2013-01-28 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
SDM2012-152 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2012-152 |