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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-11-15 13:00 鉄白金ナノ粒子の単層規則配列形成に向けた塗布成膜条件の最適化 ○蜂巣琢磨・四反田 卓・相川健一郎・藤平誉樹・杉山敦史・水野 潤・庄子習一・逢坂哲彌（早大）・山根 明・坂脇 彰・茂 智雄（昭和電工）  MR2013-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2013-19 |
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| 抄録 | （和） | 化学的合成により得られる数ナノメートルの均一粒径にそろったナノ粒子は高い自己組織化形成能 (Direct self assembled; DSA) を有し，均一粒子配列による電子デバイスの高機能化に注目が集まっている．DSAによる粒子配列膜を垂直磁気記録ビットパターンメディア（BPM）に適用するためには，粒子配列ドメインの高面積化が必須である．粒子配列ドメインの高面積化が達成困難である因子として，粒径分布や粒子分散溶液の不均一な溶媒揮発が挙げられ，平滑な基板上でのドメイン領域は数10nm程度に留まっている．我々は，粒子-基板間および粒子-粒子間の相互作用を利用した化学的手法と配列の乱れを抑制するガイドパターンを組み合わせ，また簡便なマイクロピペット塗布成膜を用いることでFePtナノ粒子のDSA配列制御を見出してきた．そこで本稿ではウエハーレベルでの広範囲な単層状ナノ粒子配列膜の形成技術確立を目的に，塗布成膜する粒子分散液の分散剤濃度と塗布量の影響について検討を行った． |
| （英） | Chemical synthesized nanoparticles having a high potential of direct self-assembly (DSA), the arrangement of FePt nanoparticles fabricated by using DSA is a promising candidate for a next-generation bit patterned media (BPM) with an areal density of several tera-bit / in2. Previously, we selected the pico litter pipette as a FePt nanoparticle coating apparatus and succeeded in the monolayer of cubic FePt nanoparticles arrangement on the thermal oxide Si substrate with modified organosilane as a fixing interlayer between the FePt nanoparticles and the substrate. However, the disturbed domains with size of a few ten nanometers were formed in the arrangement, and the parts of laminated and aggregated particles were also found in SEM images. To deal with the problem, this study examined the effects of the composition of particle coating solution of pico litter pipette coating on the area size of FePt nanoparticle arrays. | |
| キーワード | （和） | 自己組織化形成能 / 鉄白金ナノ粒子 / 化学的手法 / 塗布成膜 / / / / |
| （英） | Direct self assembly / FePt nanoparticles / Chemical synthesis / Pipette coating / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, 2013年11月. | |
| 資料番号 | ||
| 発行日 | 2013-11-08 (MR) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MR2013-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2013-19 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS ITE-MMS |
| 開催期間 | 2013-11-15 - 2013-11-15 |
| 開催地（和） | 早稲田大学 |
| 開催地（英） | Waseda Univ. |
| テーマ（和） | ハードディスクドライブ, 一般 |
| テーマ（英） | Hard disk drive technology, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2013-11-MR-MMS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 鉄白金ナノ粒子の単層規則配列形成に向けた塗布成膜条件の最適化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fine Tuning of Coating Conditions for Arrangement to FePt Nanoparticles Monolayer Film |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 自己組織化形成能 / Direct self assembly |
| キーワード(2)（和/英） | 鉄白金ナノ粒子 / FePt nanoparticles |
| キーワード(3)（和/英） | 化学的手法 / Chemical synthesis |
| キーワード(4)（和/英） | 塗布成膜 / Pipette coating |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 蜂巣 琢磨 / Takuma Hachisu / ハチス タクマ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 四反田 卓 / Suguru Shitanda / シタンダ スグル |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 相川 健一郎 / Kenichiro Aikawa / アイカワ ケンイチロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤平 誉樹 / Yoshiki Fujihira / フジヒラ ヨシキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉山 敦史 / Atsushi Sugiyama / スギヤマ アツシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水野 潤 / Jun Mizuno / ミズノ ジュン |
| 第6著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庄子 習一 / Shuichi Shoji / ショウジ シュウイチ |
| 第7著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 逢坂 哲彌 / Tetsuya Osaka / オオサカ テツヤ |
| 第8著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山根 明 / Akira Yamane / ヤマネ アキラ |
| 第9著者 所属（和/英） | 昭和電工株式会社 (略称： 昭和電工) Showa Denko K.K. (略称： Showa Denko) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂脇 彰 / Akira Sakawaki / サカワキ アキラ |
| 第10著者 所属（和/英） | 昭和電工株式会社 (略称： 昭和電工) Showa Denko K.K. (略称： Showa Denko) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 茂 智雄 / Tomoo Shige / シゲ トモオ |
| 第11著者 所属（和/英） | 昭和電工株式会社 (略称： 昭和電工) Showa Denko K.K. (略称： Showa Denko) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-11-15 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MR2013-19 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.297 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-11-08 (MR) |
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