講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-05-21 15:45
周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 ○清水貴博・柳谷隆彦(早大) US2018-16 |
抄録 |
(和) |
近年,移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って,フィルタ搭載数が増加している.その解決策の1つとして,1つのフィルタに周波数スイッチナブルの機能を付加することが期待されている.通常,分極が一方向の薄膜共振子は基本モードで,分極反転n層構造ではn次モードで共振する.すなわち, 成膜後に分極制御可能な共振子ならば基本モードとn次モードを切り替えることができ,周波数fとnfのフィルタを実現できると考えられる.本研究では,常誘電相PMN-PTと強誘電相PZTを交互に成膜し,2層構造の薄膜共振子を作製した.その結果,正電圧を印加すると分極反転構造となり2次モード(729 MHz),負電圧を印加すると分極が一方向の構造となり基本モード(327 MHz)で共振し,周波数スイッチナブル動作に成功した. |
(英) |
In recent years, the number of bandpass filters in smartphone has been increasing because of international roaming system. Frequency switchable filters are promising as a solution for putting a lot of filters together. The resonator with single polar direction excites fundamental mode. On the other hand, the polarity inverted n-layered resonator can excite n th high order mode. Resonance mode can be switched by switching the polar direction of each layer. In this study, polarity inverted two-layered cubic PMN-PT/ tetragonal PZT epitaxial film resonators were fabricated by an RF magnetron sputtering. Fundamental mode resonance at 327 MHz and second mode resonance at 729 MHz were successfully switched by changing direction of DC field in this resonator. |
キーワード |
(和) |
圧電薄膜 / 強誘電体 / 分極反転構造 / エピタキシャル成長 / スイッチナブルフィルタ / / / |
(英) |
Piezoelectric thin film / Ferroelectric film / Polarity inverted structure / Epitaxial growth / Switchable filter / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 48, US2018-16, pp. 29-34, 2018年5月. |
資料番号 |
US2018-16 |
発行日 |
2018-05-14 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
US2018-16 |
研究会情報 |
研究会 |
US |
開催期間 |
2018-05-21 - 2018-05-21 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
US |
会議コード |
2018-05-US |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Polarity inverted cubic PMN-PT/ tetragonal PZT epitaxial film resonators for frequency switchable filters |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
圧電薄膜 / Piezoelectric thin film |
キーワード(2)(和/英) |
強誘電体 / Ferroelectric film |
キーワード(3)(和/英) |
分極反転構造 / Polarity inverted structure |
キーワード(4)(和/英) |
エピタキシャル成長 / Epitaxial growth |
キーワード(5)(和/英) |
スイッチナブルフィルタ / Switchable filter |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
清水 貴博 / Takahiro Shimidzu / シミズ タカヒロ |
第1著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
第2著者 所属(和/英) |
早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2018-05-21 15:45:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
US |
資料番号 |
US2018-16 |
巻番号(vol) |
vol.118 |
号番号(no) |
no.48 |
ページ範囲 |
pp.29-34 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2018-05-14 (US) |