講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-03-01 09:45
原子層堆積法を用いたフレキシブル無機ELデバイスの長寿命化 ○石川 誠・三浦正範・吉田一樹・鹿又健作・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦(山形大) CPM2018-115 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-115 |
抄録 |
(和) |
無機ELは軽くて薄い面発光デバイスであり広告や照明への応用が期待されているが、発光材料であるZnS蛍光粒子が水分に弱く寿命が短いということが課題となっている。本研究ではZnS粒子の表面に酸化アルミニウムの耐湿コーティング膜を形成し、無機ELデバイスの長寿命化を図る。まず、粒子への製膜が可能な室温原子層堆積装置を開発し製膜試験を行った。Si基板上で酸化アルミニウムの形成を確認し、その成長速度は0.19nm/cycleであった。構築した装置で製膜を行ったZnS粒子を用いて無機ELデバイスを作製し、耐久試験を行って長寿命化の検証を行った。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
原子層堆積法 / 無機EL / ZnS粒子 / プラズマ励起加湿アルゴン / アルミナ / / / |
(英) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-115, pp. 61-65, 2019年2月. |
資料番号 |
CPM2018-115 |
発行日 |
2019-02-21 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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