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| 講演名 | 2019-04-18 13:25 室温原子層堆積法を用いたZnO薄膜の特性評価 ○吉田一樹・齋藤健太郎・三浦正範・鹿又健作・廣瀬文彦（山形大）  ED2019-2 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2019-2 |
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| 抄録 | （和） | 酸化亜鉛(ZnO)は低コスト、ワイドバンドギャップ、高い可視光透過性、無毒といった特徴を持つ。このため透明導電膜、UVセンサの材料として研究されており近年ではガスバリア材料としても期待されている。我々はこれまでにジメチル亜鉛(Dimethylzinc: DMZ)とプラズマ励起加湿アルゴンを用いた原子層堆積法によってSi基板上にZnOを室温形成するプロセスを開発した。本論ではDMZ導入量を変化させることで成膜速度の改善を行った。また得られた膜を分光エリプソメトリによって分析しTauc-Lorentzモデルを用いたフィッティングを行った。その結果、波長380nm以下で光吸収係数の立ち上がりを確認しそのバンドギャップは最大で3.28eVであることが分かった。本論では得られた膜の光学特性及びその構造について議論する。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 原子層堆積法 / プラズマ励起加湿アルゴン / 酸化亜鉛 / 分光エリプソメトリ / Tauc-Lorentzモデル / / / |
| （英） | atomic layer deposition / plasma excited humidified argon / zinc oxide / ellipsometry / Tauc- Lorentz / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 9, ED2019-2, pp. 5-8, 2019年4月. | |
| 資料番号 | ED2019-2 | |
| 発行日 | 2019-04-11 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2019-2 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2019-2 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2019-04-18 - 2019-04-18 |
| 開催地（和） | 東北大・通研 |
| 開催地（英） | RIEC, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | Organic devices, oxide devices, general |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2019-04-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 室温原子層堆積法を用いたZnO薄膜の特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characteristic evaluation of ZnO thin film deposit by room temperature ALD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / atomic layer deposition |
| キーワード(2)（和/英） | プラズマ励起加湿アルゴン / plasma excited humidified argon |
| キーワード(3)（和/英） | 酸化亜鉛 / zinc oxide |
| キーワード(4)（和/英） | 分光エリプソメトリ / ellipsometry |
| キーワード(5)（和/英） | Tauc-Lorentzモデル / Tauc- Lorentz |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida / ヨシダ カズキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齋藤 健太郎 / Kentaro Saito / サイトウ ケンタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-04-18 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2019-2 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.9 |
| ページ範囲 | pp.5-8 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-04-11 (ED) |
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