お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2019-11-21 13:50
Si抵抗一体型フィールドエミッタアレイの製作
新谷英世村田英一六田英治下山 宏名城大)・長尾昌善村上勝久産総研ED2019-61 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-61
抄録 (和) フィールドエミッタは陰極表面のマイグレーションやガス分子の吸着脱離によって電流特性が常に変化し続ける。そのため、微小なフィールドエミッタが配列状に並んだフィールドエミッタアレイ(FEA)では同一の面内であっても、各エミッタ間で放出電流が大きく異なり、放出電流の安定性が欠けてしまうことが課題である。この問題に対して、各エミッタ一つ一つに独立した抵抗層を導入することで安定性を向上させることができると考えた。今回、我々は二層レジストを用いたエミッタ製作の中で、蒸着材料を切り替えることによって抵抗層の実現を試み、その課題が明らかとなった。 
(英) The emission current from field emitter fluctuates due to surface migration and adsorption-desorption of residual gas molecules. Therefore, emission stability of field emitter array, arranged field emitter, considerably differed between each individual emitter. Inserting ballast resistor in each individual emitter would be effective to improve emission uniformity. We tried to fabricate individual resistive layer by switching deposition material in Spindt-type emitter fabrication using double layered-photoresist.
キーワード (和) フィールド・エミッタ・アレイ / 放出電流 / 抵抗層 / 安定性 / / / /  
(英) field emitter array / emission current / resistive layer / stability / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 305, ED2019-61, pp. 9-12, 2019年11月.
資料番号 ED2019-61 
発行日 2019-11-14 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2019-61 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-61

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2019-11-21 - 2019-11-22 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2019-11-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Si抵抗一体型フィールドエミッタアレイの製作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of field emitter array with integral Si ballast resistor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) フィールド・エミッタ・アレイ / field emitter array  
キーワード(2)(和/英) 放出電流 / emission current  
キーワード(3)(和/英) 抵抗層 / resistive layer  
キーワード(4)(和/英) 安定性 / stability  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 新谷 英世 / Hidetoshi Shinya / シンヤ ヒデトシ
第1著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo university (略称: Meijo Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ
第2著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo university (略称: Meijo Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 六田 英治 / Eiji Rokuta / ロクタ エイジ
第3著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo university (略称: Meijo Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 下山 宏 / Hiroshi Shimoyama /
第4著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo university (略称: Meijo Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ
第5著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National institute of advanced industrial science and technology (略称: AIST)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 村上 勝久 / Katsuhisa Murakami / ムラカミ カツヒサ
第6著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National institute of advanced industrial science and technology (略称: AIST)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第7著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第1著者 
発表日時 2019-11-21 13:50:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2019-61 
巻番号(vol) vol.119 
号番号(no) no.305 
ページ範囲 pp.9-12 
ページ数
発行日 2019-11-14 (ED) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会