講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-11-21 13:50
Si抵抗一体型フィールドエミッタアレイの製作 ○新谷英世・村田英一・六田英治・下山 宏(名城大)・長尾昌善・村上勝久(産総研) ED2019-61 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-61 |
抄録 |
(和) |
フィールドエミッタは陰極表面のマイグレーションやガス分子の吸着脱離によって電流特性が常に変化し続ける。そのため、微小なフィールドエミッタが配列状に並んだフィールドエミッタアレイ(FEA)では同一の面内であっても、各エミッタ間で放出電流が大きく異なり、放出電流の安定性が欠けてしまうことが課題である。この問題に対して、各エミッタ一つ一つに独立した抵抗層を導入することで安定性を向上させることができると考えた。今回、我々は二層レジストを用いたエミッタ製作の中で、蒸着材料を切り替えることによって抵抗層の実現を試み、その課題が明らかとなった。 |
(英) |
The emission current from field emitter fluctuates due to surface migration and adsorption-desorption of residual gas molecules. Therefore, emission stability of field emitter array, arranged field emitter, considerably differed between each individual emitter. Inserting ballast resistor in each individual emitter would be effective to improve emission uniformity. We tried to fabricate individual resistive layer by switching deposition material in Spindt-type emitter fabrication using double layered-photoresist. |
キーワード |
(和) |
フィールド・エミッタ・アレイ / 放出電流 / 抵抗層 / 安定性 / / / / |
(英) |
field emitter array / emission current / resistive layer / stability / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 305, ED2019-61, pp. 9-12, 2019年11月. |
資料番号 |
ED2019-61 |
発行日 |
2019-11-14 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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