講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-05-18 13:30
金属ガラス導波路の高周波超音波伝搬特性 ○篠田航平・チェン カン(東大)・入江喬介(マイクロソニック)・飯島高志(産総研)・森田 剛(東大) US2020-8 |
抄録 |
(和) |
細径導波路を用いた超音波顕微鏡の開発において、これまで導波路の材質として使用されてきた石英ガラスには金属に比べ脆性破壊しやすく加工や取り扱いが困難であることなどの問題があった。そこで、石英ガラスに代わる導波路の材質としてアモルファス構造を有する金属ガラスに着目し、100 MHz帯の高周波超音波の伝搬特性について、金属ガラスと他3種類の金属導波路を使用した超音波の送受信実験により検討を行った。その結果、金属ガラスは低減衰、広帯域で100 MHzを超える高周波まで超音波を伝搬させることを実験的に確認した。これにより、金属ガラスの高周波超音波の伝搬媒質としての有用性、および細径導波路を用いた超音波顕微鏡の導波路への適用可能性が示された。 |
(英) |
In developing an ultrasonic microscope using a thin waveguide, quartz glass has been used as a waveguide material. However, quartz glass is brittle fracture so that processing and handling are difficult. Therefore, we focused on metallic glass, which is an amorphous material. In this study, we studied the ultrasonic propagation characteristics of metallic glass in the 100 MHz-range. The results showed that metallic glass can propagate ultrasound in a wide range at high-frequency over 100 MHz. This property indicates its usefulness of metallic glass as a propagation medium for high-frequency ultrasound devices. |
キーワード |
(和) |
細径導波路 / 超音波顕微鏡 / アモルファス材料 / / / / / |
(英) |
Thin waveguide / Ultrasonic microscope / Amorphous material / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 27, US2020-8, pp. 1-5, 2020年5月. |
資料番号 |
US2020-8 |
発行日 |
2020-05-11 (US) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2020-8 |