講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-09-28 13:50
直線集束ビーム超音波材料解析システムによる材料均質性評価のための高速スキャン法 ○大橋雄二・横田有為・山路晃広・吉野将生・黒澤俊介・鎌田 圭・佐藤浩樹・豊田智史・花田 貴・吉川 彰(東北大) US2020-34 |
抄録 |
(和) |
直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにおいて高速スキャン法を用いた新しい材料均質性評価法を提案し,その実験的検討を行なった.Ca3Ta(Ga0.75Al0.25)3Si2O14[CTGAS]単結晶試料内に存在する組成分布に起因する漏洩弾性表面波(LSAW)速度の変化を従来法のV(z)法と新規提案のV(x)法の両方法で同様に得ることに成功した.V(x)法の測定時間は,従来法のV(z)法に比べ1/56と高速に測定可能であった.測定精度の観点ではV(z)法が優れているが,材料の広い面積に渡る均質性を高速に評価するという観点ではV(x)法に大きなメリットがある. |
(英) |
We proposed and demonstrated a new method for measuring material homogeneity using fast scanning technique with the line-focus-beam ultrasonic-material-characterization (LFB-UMC) system. We could successfully obtain similar velocity profile of leaky surface acoustic wave (LSAW) for a Ca3Ta(Ga0.75Al0.25)3Si2O14[CTGAS] single crystal specimen by both of the new V(x) and the conventional V(z) methods. We have verified the new V(x) method was 56 times faster than the conventional V(z) method. Although the V(z) method is superior to the V(x) method in a viewpoint of measurement accuracy, the V(x) method has great advantage that it is possible to quickly evaluate material homogeneity over the wide area of specimen. |
キーワード |
(和) |
直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システム / 漏洩弾性表面波(LSAW)速度 / V(z)曲線解析法 / 材料均質性評価 / / / / |
(英) |
Line-focus-beam ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system / Leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity / V(z) curve analysis / Measuring material homogeneity / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 174, US2020-34, pp. 41-44, 2020年9月. |
資料番号 |
US2020-34 |
発行日 |
2020-09-21 (US) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2020-34 |