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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-01-18 13:40 ［依頼講演］レーザーテラヘルツ放射顕微鏡によるGaN-HEMTの界面ポテンシャル分布 ○高田徳幸（産総研）  OME2022-63 |
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| 抄録 | （和） | レーザーテラヘルツ放射顕微鏡（LTEM）は、半導体表面・界面にフェムト秒光パルスを照射し、光電流や分極の時間変化に由来して放射されるTHz波を検出することで、電場/電荷移動等の情報分析を可能にする技術である。本研究ではLTEMを用いて、動作中のGaN-HEMTにおけるAlGaN/GaN界面ポテンシャル変化を可視化できたので報告する。 |
| （英） | Laser Terahertz Emission Microscopy (LTEM) can observe electric field/charge transfer by detecting THz waves emitted due to time-dependent changes in photocurrent and polarization on irradiating femtosecond light pulses to semiconductor surfaces/interfaces. In this study, we report on the visualization of the AlGaN/GaN interfacial potential change in GaN-HEMT during operation using LTEM. | |
| キーワード | （和） | LTEM / THz波 / GaN-HEMT / 2DEG / 空乏層 / / / |
| （英） | LTEM / THz wave / GaN-HEMT / 2DEG / depletion layer / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 336, OME2022-63, pp. 1-3, 2023年1月. | |
| 資料番号 | OME2022-63 | |
| 発行日 | 2023-01-11 (OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2022-63 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME IEE-DEI |
| 開催期間 | 2023-01-18 - 2023-01-19 |
| 開催地（和） | 愛知・日間賀島 ホテル浦島 |
| 開催地（英） | Aichi Himaka island ホテル浦島 |
| テーマ（和） | 有機薄膜，有機・バイオデバイス，一般 |
| テーマ（英） | Organic Thin Films, Organic・biotechnology, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2023-01-OME-DEI |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | レーザーテラヘルツ放射顕微鏡によるGaN-HEMTの界面ポテンシャル分布 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Interface potential distribution in GaN-HEMT using Laser Terahertz Emission Microscope |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LTEM / LTEM |
| キーワード(2)（和/英） | THz波 / THz wave |
| キーワード(3)（和/英） | GaN-HEMT / GaN-HEMT |
| キーワード(4)（和/英） | 2DEG / 2DEG |
| キーワード(5)（和/英） | 空乏層 / depletion layer |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高田 徳幸 / Noriyuki Takada / タカダ ノリユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-01-18 13:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2022-63 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.336 |
| ページ範囲 | pp.1-3 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2023-01-11 (OME) |
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