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| 講演名 | 2023-10-31 13:25 Qufabでの超伝導トンネル接合X線検出器の作製 ○野口剛志（埼玉大/産総研）・藤井 剛（産総研）・田井野 徹（埼玉大）  SCE2023-20 |
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| 抄録 | （和） | 超伝導トンネル接合(STJ)検出器は，理論上従来の半導体検出器より数十倍の高いエネルギー分解能を 実現でき，SiC や GaN をはじめとした次世代エネルギー半導体中の微量軽元素等の X 線分析への応用が期待されて いる.我々は，産業技術総合研究所の CRAVITY にて，STJ 検出器を作製してきた.同施設は，大規模な超伝導量子 コンピューティングデバイスなどを開発するため，2021 年秋から~22 年春にかけて半数程度の装置の入れ替えが 行われ，名称が超伝導量子回路試作施設(Superconducting Quantum Circuit Fabrication Facility : Qufab)と変更された. 本発表では，Qufab にて STJ の作製を試み，その STJ の性能評価を行った結果について報告する. |
| （英） | Superconducting tunnel junction (STJ) detectors can theoretically achieve several ten times higher energy resolution than conventional semiconductor detectors and are expected to be applied to X-ray fluorescence analysis of trace amounts of light elements and other elements in next-generation energy semiconductors such as SiC and GaN. We have been fabricating superconducting tunnel junctions (STJs) at the CRAVITY facility of the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST). In order to develop large-scale superconducting quantum computing devices, about half of the equipment in the facility will be replaced from the fall of 2021 to the spring of 2022. accordingly, The name was changed to Superconducting Quantum Circuit Fabrication Facility (Qufab). In this presentation, we will report the results of our attempt to fabricate STJs at Qufab and the performance evaluation of the STJs. | |
| キーワード | （和） | 超伝導 X 線検出器 / 超伝導トンネル接合検出器 / STJ 検出器 / 超伝導量子回路試作施設 / / / / |
| （英） | Superconducting X-ray detector / Superconducting tunnel junction detector / STJ detector / Qufab / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 234, SCE2023-20, pp. 40-43, 2023年10月. | |
| 資料番号 | SCE2023-20 | |
| 発行日 | 2023-10-23 (SCE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2023-20 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2023-10-30 - 2023-10-31 |
| 開催地（和） | 東北大学 電気通信研究所 |
| 開催地（英） | RIEC, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ（英） | Superconducting Electronics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2023-10-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Qufabでの超伝導トンネル接合X線検出器の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector in Qufab |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導 X 線検出器 / Superconducting X-ray detector |
| キーワード(2)（和/英） | 超伝導トンネル接合検出器 / Superconducting tunnel junction detector |
| キーワード(3)（和/英） | STJ 検出器 / STJ detector |
| キーワード(4)（和/英） | 超伝導量子回路試作施設 / Qufab |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 剛志 / Tsuyoshi Noguchi / ノグチ ツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 埼玉大学/産業技術総合研究所 (略称： 埼玉大/産総研) Saitama university/Advanced Industrial Science and Technology (略称： Saitama univ./AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 剛 / Go Fujii / フジイ ゴウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田井野 徹 / Tohru Taino / タイノ トオル |
| 第3著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama university (略称： Saitama univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-10-31 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2023-20 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.234 |
| ページ範囲 | pp.40-43 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-10-23 (SCE) |
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