7月29日(木) 午後 13:30 - 16:40 |
(1) |
13:30-13:55 |
RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と熱処理効果の検討 |
○小川 翼・横本拓也・林部林平・山上朋彦・阿部克也(信州大) |
(2) |
13:55-14:20 |
ガスフロースパッタ法によるFe3O4のGaAs上へのエピタキシャル成長 |
○佐久間洋志・設樂裕紀・鍵 康人・鈴木 涼・石井 清(宇都宮大) |
(3) |
14:20-14:45 |
室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討 |
○清水英彦・樫出 淳・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎(新潟大)・星 陽一(東京工芸大) |
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14:45-14:55 |
休憩 ( 10分 ) |
(4) |
14:55-15:20 |
触媒反応により生成した水分子ビームを用いたZnO結晶薄膜のエピタキシャル成長 |
田原将巳・三浦仁嗣・黒田朋義・西山 洋・○安井寛治(長岡技科大) |
(5) |
15:20-15:45 |
伝送線上のアイパターンを改善する技術の提案と実測評価 |
○石黒将巳・島内優希・相部範之(筑波大)・吉原郁夫(宮崎大)・安永守利(筑波大) |
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15:45-15:50 |
休憩 ( 5分 ) |
(6) |
15:50-16:40 |
[招待講演]超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ~ 細孔の評価と洗浄 ~ |
○近藤英一(山梨大) |
7月30日(金) 午前 09:30 - 12:10 |
(7) |
09:30-09:55 |
ラジカル反応を応用したZrNx膜の低温作製 |
○佐藤 勝・武山真弓(北見工大)・早坂祐一郎・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大) |
(8) |
09:55-10:20 |
TDEAV原料を用いたVNx膜のALD成膜 |
○武山真弓・佐藤 勝(北見工大)・須藤 弘・町田英明(気相成長)・伊藤 俊・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大) |
(9) |
10:20-10:45 |
レーザーアブレーション法によるSi基板上AlN薄膜の形成 |
○中澤日出樹・鈴木大樹・遲澤遼一・岡本 浩(弘前大) |
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10:45-10:55 |
休憩 ( 10分 ) |
(10) |
10:55-11:20 |
水平配向したカーボンナノチューブからの電界電子放出 |
斉藤裕史・山上朋彦・林部林平・大池 匠・山下将弘・○上村喜一(信州大) |
(11) |
11:20-11:45 |
液液界面析出したC60の光励起ポリマー形成 |
小出大樹・加藤翔太・池田恵理・岩田展幸・○山本 寛(日大) |
(12) |
11:45-12:10 |
Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性 |
○望月翔太・野毛 悟(沼津高専) |