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★シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
専門委員長 大見 俊一郎 (東工大)  副委員長 宇佐美 達矢 (日本エーエスエム)
幹事 諏訪 智之 (東北大), 野田 泰史 (パナソニック)
幹事補佐 細井 卓治 (関西学院大), 二瀬 卓也 (ウエスタンデジタル)

日時 2023年 6月26日(月) 10:00~15:30

会場 広島大学 ナノデバイス研究所(〒739-8527 広島県東広島市鏡山1-4-2.https://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/.細井 卓治 (関西学院大学))

議題 MOSデバイス・メモリ・パワーデバイス高性能化-材料・プロセス技術 (応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会との合同開催)

6月26日(月) 午前 (10:00~15:30)

−−− 挨拶 & SDM研究会若手優秀発表賞表彰式 ( 10分 ) −−−

(1) 10:10 - 10:50
[記念講演]表面ラフネス散乱の非線形理論に基づく 極薄膜nMOSFETのチャネル材料と面方位の最適設計
○隅田 圭・姜 旼秀・陳 家驄・トープラサートポン カシディット・竹中 充・高木信一(東大)

(2) 10:50 - 11:30
[記念講演]極低温動作MOSFETのクーロン散乱移動度に対するバンド端準位の影響
○岡 博史・稲葉 工・飯塚将太・浅井栄大・加藤公彦・森 貴洋(産総研)

(3) 11:30 - 11:50
自己組織化単分子膜を用いた極薄SiO2/SiC界面特性の評価
○奥平 諒(関西学院大)・川那子高暢(東工大)・細井卓治(関西学院大)

(4) 11:50 - 12:10
FeナノドットへのSiH4照射がシリサイド化反応に及ぼす影響
○斎藤陽斗・牧原克典・谷田 駿・田岡紀之・宮﨑誠一(名大)

(5) 12:10 - 12:30
熱酸化Zr/Hf多重積層構造の結晶構造および強誘電特性評価
○佐野友之輔(名大)・田岡紀之(愛知工大)・牧原克典(名大)・大田晃生(福岡大)・宮﨑誠一(名大)

−−− 昼休憩 ( 60分 ) −−−

(6) 13:30 - 14:10
[依頼講演]オペランドレーザー励起光電子顕微鏡による強誘電体キャパシタの非破壊イメージングの開拓
○藤原弘和・糸矢祐喜・小林正治・バレイユ セドリック・辛 埴・谷内敏之(東大)

(7) 14:10 - 14:50
[依頼講演]結晶相転移接合トランジスタの実証
○冨岡克広・勝見 悠・本久順一(北大)

(8) 14:50 - 15:30
[招待講演]加熱その場高分解能TEMを用いた薄膜Si固相結晶化過程の原子スケールリアルタイム観察 ~ 多結晶Siチャネル高性能化に向けて ~
○手面 学・浅野孝典・高石理一郎・富田充裕・齋藤真澄・田中洋毅(キオクシア)

研究会終了後、広島大学・ナノデバイス研究所見学(希望者対象)

一般講演:発表 15 分 + 質疑応答 5 分
記念講演:発表 35 分 + 質疑応答 5 分
依頼講演:発表 35 分 + 質疑応答 5 分

◆応用物理学会共催


☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日

8月1日(火)~3日(木) 北海道大学 情報教育館 3F [6月13日(火)] テーマ:アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用

【問合先】
細井 卓治 (関西学院大学)
ikni


Last modified: 2023-04-26 20:21:29


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