11月7日(木) 午後
13:30 - 16:40 |
| (1) |
13:30-13:55 |
ハイパー／マルチスペクトルカメラを利用した人工光下における植物生育障害の早期発見手法の開発 |
○鹿島光司・虎島史歩・伊藤浩之・深水克郎・大場隆之（東工大） |
| (2) |
13:55-14:20 |
真空蒸着法による硫化アンチモン薄膜堆積 |
○高野 泰・井上 翔（静岡大） |
| (3) |
14:20-14:45 |
極薄TaWN膜上のCu配向制御の検討 |
○武山真弓・佐藤 勝（北見工大） |
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14:45-15:00 |
休憩 （ 15分 ） |
| (4) |
15:00-15:25 |
窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果 |
○長内公哉・中村和樹・郡山春人・小林康之・遠田義晴・鈴木裕史（弘前大）・末光眞希（東北大）・中澤日出樹（弘前大） |
| (5) |
15:25-15:50 |
触媒反応支援CVD法におけるZnO膜への窒素ドーピング |
○伊庭竜太・神林広樹・安達雄大（長岡技科大）・大石耕一郎・片桐裕則（長岡高専）・安井寛治（長岡技科大） |
| (6) |
15:50-16:40 |
［招待講演］触媒反応支援化学気相成長法を用いた金属酸化物薄膜の成長 |
○安井寛治（長岡技科大） |
11月8日(金) 午前
10:00 - 11:40 |
| (7) |
10:00-10:25 |
RFスパッタ法によって室温成膜されたZrNx膜の特性 |
○佐藤 勝・武山真弓（北見工大） |
| (8) |
10:25-10:50 |
高分子圧電体膜P(VDF-TrFE)をゲート絶縁膜に用いた一体型FETにおけるチャネル構造変化に伴う電気的特性の変化 |
○松本周作・岡山琢哉・古川昭雄（東京理科大） |
| (9) |
10:50-11:40 |
［招待講演］界面顕微光応答法による金属／半導体、半導体／半導体界面の2次元評価 |
○塩島謙次（福井大） |