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★電子部品・材料研究会（CPM） 専門委員長 石井 清 副委員長 上村 喜一 幹事 松浦 徹， 豊田 誠治 幹事補佐 清水 英彦， 竹村 泰司 日時 2006年11月 9日(木) 13：30～17：25 2006年11月10日(金) 09：00～12：05 会場 金沢大学角間キャンパス（〒920-1192 金沢市角間町．JR金沢駅から北陸鉄道バスにて約40分．http://www.kanazawa-u.ac.jp/j/info/access/access.html．金沢大学 大学院 電子情報科学専攻 森本章治．076-234-4876） 議題 薄膜プロセス・材料、一般 11月9日(木) 午後 （13：30～17：25） (1) 13:30 - 13:55 スパッタ法によるAZO薄膜の作製 ○川上 歩・野口 亨・東出陽幸・宮崎紳介・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） (2) 13:55 - 14:20 プラスチック基板上へのITO薄膜の作製 ○竹内正樹・森下和哉・梅津 岳・中田悠介・宮崎紳介・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）・皆川正寛（日本精機） (3) 14:20 - 14:45 RFマグネトロンスパッタ法によるCr2O3薄膜の作製 ○浅田 毅・長瀬研二朗・山田貴之・岩田展幸・山本 寛（日大） (4) 14:45 - 15:10 Ni/Mo層上におけるカーボンナノチューブの成長制御 ○奥山博基・岩田展幸・山本 寛（日大） −−− 休憩 （ 10分 ） −−− (5) 15:20 - 15:45 RF-MBE法により成長したAlInN薄膜のCL測定による評価 ○味村 裕・寺嶋 亘（千葉大）・崔 成伯・石谷善博・吉川明彦（千葉大/JST） (6) 15:45 - 16:10 反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製とLD用サブマウントへの応用 ○塩野晃宏・中久木政秀・小林勲生・山上朋彦・林部林平（信州大）・小畑元樹（シチズンファインテック）・阿部克也・上村喜一（信州大） (7) 16:10 - 16:35 Cu/ZrN/SiOC/Si構造の熱的安定性と界面モフォロジーの検討 ○野矢 厚・佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・青柳英二（東北大） (8) 16:35 - 17:00 Cu配線のためのラジカル反応を用いた極薄TiNxバリヤの新規作製方法の検討 ○武山真弓・柳田賢善・野矢 厚（北見工大） (9) 17:00 - 17:25 HW法により成膜された極薄HfNx膜のCu/SiO2及びCu/SiOC間のバリヤ特性 ○佐藤 勝・武山真弓・野矢 厚（北見工大） 11月10日(金) 午前 （09：00～12：05） (10) 09:00 - 09:25 IBS法による歪Si作製に向けた歪緩和SiGeの表面ラフネス制御 ○山本 純・坂口勇太・成瀬公博・佐々木公洋（金沢大） (11) 09:25 - 09:50 劣化エピタキシャル成長したSiGe薄膜の熱電性能 ～ 基板の影響 ～ ○的場彰成・早平寿夫・都築崇博・佐々木公洋（金沢大）・岡本庸一・守本 純（防衛大） (12) 09:50 - 10:15 SiC埋め込み型Geナノドット構造を目指した高密度ナノドット形成 ○金丸哲史・荻原智明・安井寛治・赤羽正志・高田雅介（長岡技科大） (13) 10:15 - 10:40 MOVPE成長したInN膜の成長中劣化現象 ○杉田憲一・宝珍禎則・橋本明弘・山本暠勇（福井大） −−− 休憩 （ 10分 ） −−− (14) 10:50 - 11:15 制限反応スパッタ法によるZrO2薄膜作製における成長遅れ時間 ○杉山英孝・小島述央・山岸大朗・周 英・佐々木公洋（金沢大） (15) 11:15 - 11:40 酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置 ○千葉 忍（金沢大/CBC）・佐々木公洋（金沢大）・元木 詮（CBC）・畑 朋延（JST）・伊藤昭彦（芝浦メカトロニクス） (16) 11:40 - 12:05 スパッタ法で作製されたNiCr薄膜の構造と抵抗温度係数(TCR)特性に及ぼす基板表面あらさの影響 ○岩坪 聡・清水孝晃（富山県工技センター） 一般講演（25）：発表 20 分 ＋ 質疑応答 5 分 ☆CPM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日 2007年1月18日(木)～19日(金) 機械振興会館 [11月22日(水)] テーマ：LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト技術、一般 【問合先】 清水 英彦（新潟大学） TEL 025-262-6811, FAX 025-262-6811 E-mail:     eng  i  -u 森本 章治（金沢大学） Tel: 076-234-4876 Fax: 076-234-4870 E-mail: a   tect    -u安井 寛治（長岡技術科学大学） TEL 0258-47-9502 FAX 0258-47-9500 E-mail: k   ivos utLast modified: 2006-10-30 21:12:26 |
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