6月11日(木) 午後  13:00 - 17:15
(1)	13:00-13:25	高dose II剥離におけるSPMレス洗浄の検討	○佐藤俊哉・鈴木　保・塚原彰彦（富士通マイクロエレクトロニクス）・森平恭太（アクアサイエンス）
(2)	13:25-13:50	Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価 ED2009-36	○伊藤篤史・原田　憲・河瀬康弘・水谷文一（三菱化学）・原　誠・青木秀充・木村千春・杉野　隆（阪大）
(3)	13:50-14:15	導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄 ED2009-37	○鈴木一成（カイジョー/芝浦工大）・潘　毅・岡野勝一・副島潤一郎（カイジョー）・小池義和（芝浦工大）
	14:15-14:30	休憩　（ 15分 ）
(4)	14:30-14:55	べベルブラシ洗浄プロセスの開発 ED2009-38	○萩本賢哉・岩元勇人（ソニー）
(5)	14:55-15:20	メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性 ED2009-39	増住拓朗・原　誠・○青木秀充・呂　志明・木村千　春・杉野　隆（阪大）
	15:20-15:35	休憩　（ 15分 ）
(6)	15:35-16:00	GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の電気的評価 ED2009-40	○中村成志・星野晃一・落合俊輔・須原理彦・奥村次徳（首都大東京）
(7)	16:00-16:25	原子層堆積により形成したAl2O3/AlGaN/GaNの界面評価 ED2009-41	○水江千帆子・堀　祐臣（北大）・ミツェーク マルチン（Silesian Univ. of Tech.）・橋詰　保（北大）
(8)	16:25-16:50	Improvement in Device Performance in MIS AlGaN/GaN HFETs by Designing Insulator/AlGaN/GaN Structures ED2009-42	○Narihiko Maeda・Masanobu Hiroki・Takatomo Enoki（NTT）・Takashi Kobayashi（NTT AT）
(9)	16:50-17:15	AlGaN/GaN-HEMTに対するドライエッチングの低ダメージ化の検討 ED2009-43	○蔵口雅彦・湯元美樹・高田賢治・津田邦男（東芝）
6月12日(金) 午前  09:30 - 12:15
(10)	09:30-09:55	歪み印加時のInAsとInSbのバンド構造と電子輸送特性に関する理論的解析 ED2009-44	○西野啓之・川平一太・原　伸介・藤代博記（東京理科大）
(11)	09:55-10:20	InGaAs/InP二次元電子移動度の異方性 ED2009-45	○赤堀誠志（北陸先端大/ユーリッヒ研）・Thanh Quang Trinh・工藤昌宏（北陸先端大）・Thomas Schaepers・Hilde Hardtdegen（ユーリッヒ研）・鈴木寿一（北陸先端大）
(12)	10:20-10:45	SiO2細線埋込InP系HBTにおけるCBr4を使ったIn-situエッチング ED2009-46	○武部直明・山下浩明・高橋新之助・齋藤尚史・小林　嵩・宮本恭幸・古屋一仁（東工大）
	10:45-11:00	休憩　（ 15分 ）
(13)	11:00-11:25	熱CVD成長SiN膜を用いたゲートリセス構造MIS-AlGaN/GaN-HEMTの電気特性 ED2009-47	○丸井俊治・星　真一・戸田典彦・森野芳昭・伊藤正紀・大来英之・玉井　功・関　昇平（OKI）
(14)	11:25-11:50	GaN-HEMTエピ構造最適化によるオフ電流低減 ED2009-48	○山田敦史・牧山剛三・多木俊裕・金村雅仁・常信和清・今西健治（富士通/富士通研）・原　直紀（富士通研）・吉川俊英（富士通/富士通研）
(15)	11:50-12:15	SiC基板上AlGaN/GaN HEMTの基板オフ角依存 ED2009-49	○松下景一・桜井博幸・沈　正七・高木一考・川崎久夫・高田賢治・津田邦男（東芝）

問合先と今後の予定
ED	電子デバイス研究会（ED）   [今後の予定はこちら]
	問合先	村田 浩一（NTT) TEL：046-240-2871, FAX：046-270-2872 E-： aecl 原 直紀 （富士通研究所） TEL : 046-250-8242, FAX : 046-250-8168 E- : o 津田 邦男（東芝） TEL : 044-549-2142, FAX : 044-520-1501 E- : oba 須原 理彦（首都大） TEL : 042-677-2765, FAX : 042-677-2756 t

Last modified: 2009-09-07 15:42:59