2月4日(金) 午前  配線・実装技術と関連材料技術 09:00 - 14:25
	09:00-09:05	開会　（ 5分 ）
(1)	09:05-09:45	［招待講演］タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価 SDM2021-74	○百瀬　健・金　泰雄・鄧　玉斌・出浦桃子（東大）・松尾　明・山口述夫（キヤノンアネルバ）・霜垣幸浩（東大）
(2)	09:45-10:25	［招待講演］SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション SDM2021-75	○永井洋之・岩下光秋・菊地裕樹（東京エレクトロン）・河崎洋章・ギアナ パッタナイク（TEL Technology Center, America）・藤田啓一（東京エレクトロン九州）・岩井和俊（Tokyo Electron America）・小松裕之・尾崎優貴（JSR）
	10:25-10:40	休憩　（ 15分 ）
(3)	10:40-11:20	［招待講演］低温焼結塗布型シリカを用いた印刷エレクトロニクス SDM2021-76	○三成剛生（物質・材料研究機構）・孫　晴晴（鄭州大）・李　玲穎（物質・材料研究機構）・李　万里（江南大）・劉　旭影（鄭州大）
(4)	11:20-12:00	［招待講演］3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー SDM2021-77	中澤圭一・○山元純平・藤井宣年・上原睦雄・平松克規・熊野秀臣・森　茂貴・岡本晋太郎・清水暁人・馬場公一・大沼英寿・松本　晃・財津光一郎・田谷圭司・平野智之・岩元勇人（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
	12:00-13:00	昼食　（ 60分 ）
(5)	13:00-13:40	［招待講演］超伝導量子コンピュータ ～ スケーラブルな超伝導素子設計と課題 ～ SDM2021-78	○田渕　豊（理研）
(6)	13:40-14:20	［招待講演］ダイヤモンドスピン量子コンピューターに向けた三次元集積技術 SDM2021-79	○石原良一・Jeffrel Hermias・Shuichang Yu・King Y. Yu・Ye Li・Maurice van der Maas・Salahuddin Nur（デルフト工科大）・岩井俊樹・宮武哲也・河口研一・土肥義康・佐藤信太郎（富士通）
	14:20-14:25	閉会　（ 5分 ）

問合先と今後の予定
SDM	シリコン材料・デバイス研究会（SDM）   [今後の予定はこちら]
	問合先	SDM幹事：森 貴洋（産業技術総合研究所） 電話 029-849-1149 E-Mail -aist

Last modified: 2021-12-20 15:56:29