8月10日(月) 14:40 - 17:20 |
(1) |
14:40-15:05 |
半導体工学教育用簡易MOSFET作製プロセス |
○廣瀬文彦・宮城達郎・成田 克(山形大) |
(2) |
15:05-15:30 |
昇温脱離法と等温脱離法を用いたSi(100)表面からの水素脱離バリヤー評価 |
○成田 克(山形大)・安冨伍郎・右ノ子知恵・稲永征司・並木 章(九工大) |
(3) |
15:30-15:55 |
直接窒化膜を界面制御層に用いたSiCMIS構造の作製 |
鈴木真一郎・仙石 昌・辻 拓真・逸見充則・村田裕亮・山上朋彦・林部林平・○上村喜一(信州大) |
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15:55-16:05 |
休憩 ( 10分 ) |
(4) |
16:05-16:30 |
有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価 |
○三浦創史・中澤日出樹・西崎圭太(弘前大)・末光眞希(東北大)・安井寛治(長岡技科大)・伊藤 隆・遠藤哲郎(東北大)・成田 克(山形大) |
(5) |
16:30-16:55 |
原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 |
○遲澤遼一・中澤日出樹・奥崎知秀・佐藤直之・遠田義晴(弘前大)・末光眞希(東北大) |
(6) |
16:55-17:20 |
可視及び近赤外自由電子レーザー励起による単層カーボンナノチューブの成長中カイラリティ制御 |
○岩田展幸・石塚大祐・境 恵二郎・園村拓也・竹下弘毅(日大)・金木邦英・矢島博文(東京理科大)・山本 寛(日大) |
8月11日(火) 09:00 - 14:45 |
(7) |
09:00-09:25 |
β相水晶の圧電特性と温度センサへの応用 |
○田代博之・宇野武彦(神奈川工科大)・野毛 悟(沼津高専) |
(8) |
09:25-09:50 |
AuおよびAg微粒子、Au-Ag合金粒子と複合化した磁性ガーネット薄膜の磁気光学効果の変化 |
○水谷祐介(豊橋技科大)・内田裕久(東北工大)・Alexander Baryshev・井上光輝(豊橋技科大) |
(9) |
09:50-10:15 |
超構造薄膜光導波路の形成と特性 |
○笠原 慧・宇野武彦(神奈川工科大)・野毛 悟(沼津高専) |
(10) |
10:15-10:40 |
TSFZ法によるBi2Sr2Ca2Cu3O10単結晶の育成と評価 |
○櫛引治樹・渡辺孝夫・伊藤康仁(弘前大)・藤井武則(東大) |
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10:40-10:50 |
休憩 ( 10分 ) |
(11) |
10:50-11:15 |
ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用 |
○武山真弓・佐藤 勝(北見工大)・早坂祐一郎・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大) |
(12) |
11:15-11:40 |
3次元Si貫通ビアに適用可能なバリヤ膜の新規成膜手法の有用性 ~ 低温作製されたZrNx膜の特性評価 ~ |
○佐藤 勝・武山真弓(北見工大)・早坂祐一郎・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大) |
(13) |
11:40-12:05 |
間欠ガス供給を用いたホットメッシュCVD法によるSi上GaNエピタキシャル成長 |
齋藤 健・永田一樹(長岡技科大)・末光眞希・遠藤哲郎・伊藤 隆(東北大)・中澤日出樹(弘前大)・成田 克(山形大)・高田雅介・赤羽正志・○安井寛治(長岡技科大) |
(14) |
12:05-12:30 |
Biサーファクタントを用いた通信波長帯量子ドットの成長と評価 |
○岡本 浩(弘前大)・俵 毅彦・後藤秀樹・鎌田英彦・寒川哲臣(NTT) |
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12:30-13:30 |
昼食 ( 60分 ) |
(15) |
13:30-13:55 |
4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル |
○野毛 悟(沼津高専)・宇野武彦(神奈川工科大)・安井寛治(長岡技科大) |
(16) |
13:55-14:20 |
ウェーブパイプライン化ファイアウォールユニットのFPGA実装 |
○齊藤圭介・伊藤 慧・伊丸岡修哉・佐藤友暁・深瀬政秋(弘前大) |
(17) |
14:20-14:45 |
Stream Cipher Engine Chipの開発 |
○石原拓美・内海晴信・大隅裕介・深瀬政秋・佐藤友暁(弘前大) |