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★電子部品・材料研究会(CPM)
専門委員長 安井 寛治 (長岡技科大)  副委員長 竹村 泰司 (横浜国大)
幹事 大庭 直樹 (NTT), 野毛 悟 (沼津高専)
幹事補佐 今井 欽之 (NTT), 阿部 克也 (信州大)

日時 2009年 8月10日(月) 14:40~17:20
   2009年 8月11日(火) 09:00~14:45

会場 弘前大学 理工学部 1号館2階 大会議室(〒036-8561青森県弘前市文京町3.JR弘前駅よりバスにて約10分(「狼森(おいのもり)行」「自衛隊行」「学園町行」「小栗山行」に乗車,「弘前大学前」下車).http://www.hirosaki-u.ac.jp/.大学院理工学研究科 岡本 浩.0172-39-3636)

議題 電子部品・材料,一般

8月10日(月) (14:40~17:20)

(1) 14:40 - 15:05
半導体工学教育用簡易MOSFET作製プロセス
○廣瀬文彦・宮城達郎・成田 克(山形大)

(2) 15:05 - 15:30
昇温脱離法と等温脱離法を用いたSi(100)表面からの水素脱離バリヤー評価
○成田 克(山形大)・安冨伍郎・右ノ子知恵・稲永征司・並木 章(九工大)

(3) 15:30 - 15:55
直接窒化膜を界面制御層に用いたSiCMIS構造の作製
鈴木真一郎・仙石 昌・辻 拓真・逸見充則・村田裕亮・山上朋彦・林部林平・○上村喜一(信州大)

−−− 休憩 ( 10分 ) −−−

(4) 16:05 - 16:30
有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価
○三浦創史・中澤日出樹・西崎圭太(弘前大)・末光眞希(東北大)・安井寛治(長岡技科大)・伊藤 隆・遠藤哲郎(東北大)・成田 克(山形大)

(5) 16:30 - 16:55
原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
○遲澤遼一・中澤日出樹・奥崎知秀・佐藤直之・遠田義晴(弘前大)・末光眞希(東北大)

(6) 16:55 - 17:20
可視及び近赤外自由電子レーザー励起による単層カーボンナノチューブの成長中カイラリティ制御
○岩田展幸・石塚大祐・境 恵二郎・園村拓也・竹下弘毅(日大)・金木邦英・矢島博文(東京理科大)・山本 寛(日大)

8月11日(火) (09:00~14:45)

(7) 09:00 - 09:25
β相水晶の圧電特性と温度センサへの応用
○田代博之・宇野武彦(神奈川工科大)・野毛 悟(沼津高専)

(8) 09:25 - 09:50
AuおよびAg微粒子、Au-Ag合金粒子と複合化した磁性ガーネット薄膜の磁気光学効果の変化
○水谷祐介(豊橋技科大)・内田裕久(東北工大)・Alexander Baryshev・井上光輝(豊橋技科大)

(9) 09:50 - 10:15
超構造薄膜光導波路の形成と特性
○笠原 慧・宇野武彦(神奈川工科大)・野毛 悟(沼津高専)

(10) 10:15 - 10:40
TSFZ法によるBi2Sr2Ca2Cu3O10単結晶の育成と評価
○櫛引治樹・渡辺孝夫・伊藤康仁(弘前大)・藤井武則(東大)

−−− 休憩 ( 10分 ) −−−

(11) 10:50 - 11:15
ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用
○武山真弓・佐藤 勝(北見工大)・早坂祐一郎・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大)

(12) 11:15 - 11:40
3次元Si貫通ビアに適用可能なバリヤ膜の新規成膜手法の有用性 ~ 低温作製されたZrNx膜の特性評価 ~
○佐藤 勝・武山真弓(北見工大)・早坂祐一郎・青柳英二(東北大)・野矢 厚(北見工大)

(13) 11:40 - 12:05
間欠ガス供給を用いたホットメッシュCVD法によるSi上GaNエピタキシャル成長
齋藤 健・永田一樹(長岡技科大)・末光眞希・遠藤哲郎・伊藤 隆(東北大)・中澤日出樹(弘前大)・成田 克(山形大)・高田雅介・赤羽正志・○安井寛治(長岡技科大)

(14) 12:05 - 12:30
Biサーファクタントを用いた通信波長帯量子ドットの成長と評価
○岡本 浩(弘前大)・俵 毅彦・後藤秀樹・鎌田英彦・寒川哲臣(NTT)

−−− 昼食 ( 60分 ) −−−

(15) 13:30 - 13:55
4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル
○野毛 悟(沼津高専)・宇野武彦(神奈川工科大)・安井寛治(長岡技科大)

(16) 13:55 - 14:20
ウェーブパイプライン化ファイアウォールユニットのFPGA実装
○齊藤圭介・伊藤 慧・伊丸岡修哉・佐藤友暁・深瀬政秋(弘前大)

(17) 14:20 - 14:45
Stream Cipher Engine Chipの開発
○石原拓美・内海晴信・大隅裕介・深瀬政秋・佐藤友暁(弘前大)

一般講演:発表 20 分 + 質疑応答 5 分

◆弘前大学次世代型IT基盤技術開発センター,弘前大学電子情報工学科 共催


☆CPM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日

8月20日(木)~21日(金) 東北大学 [6月19日(金)] テーマ:光部品・電子デバイス実装技術、一般
9月25日(金) 機械振興会館 [7月17日(金)] テーマ:光記録技術,一般
10月29日(木)~30日(金) 富山県立大学 [8月24日(月)] テーマ:薄膜プロセス・材料、一般
11月19日(木)~20日(金) 徳島大学(常三島キャンパス・工業会館) [9月18日(金)] テーマ:窒化物及び混晶半導体デバイス

【問合先】
野毛 悟(沼津工業高等専門学校)
E-mail: s-ge-ct

阿部 克也(信州大学)
E-mail: abenshu-u


Last modified: 2009-09-07 13:27:45


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