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★シリコン材料・デバイス研究会（SDM） 専門委員長 品田 高宏 (東北大) 副委員長 平野 博茂 (パナソニック・タワージャズ) 幹事 池田 浩也 (静岡大)， 諸岡 哲 (キオクシア) 幹事補佐 森 貴洋 (産総研)， 小林 伸彰 (日大) 日時 2020年 2月 7日(金) 09：15～17：05 会場 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室) 議題 配線・実装技術と関連材料技術 2月7日(金) 午前 本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室) （09：15～17：05） −−− 開会 （ 5分 ） −−− (1) 09:20 - 09:35 BTA-H2O2溶液中Cu, Co表面の保護膜形成に関する考察 ○近藤英一・遠山真央・竹内翔太・金 蓮花（山梨大）・小篠涼太・濱田聡美・島 昇平・檜山浩國（荏原製作所） (2) 09:35 - 10:10 ［招待講演］強誘電体Hf0.5Zr0.5O2膜中へ単層Si挿入により均一埋設したAlナノクラスタが強誘電体トランジスタの閾値電圧ばらつきに与える効果 ○山口 直・前川径一・大原隆裕・天羽生 淳・佃 栄次・園田賢一郎・柳田博史・井上真雄・松浦正純・山下朋弘（ルネサス エレクトロニクス） (3) 10:10 - 10:45 ［招待講演］CMP後洗浄後の銅配線表面の安定性 ○河瀬康弘・柴田俊明・草野智博（三菱ケミカル）・原田 憲（imec）・竹下 寛（三菱ケミカル） (4) 10:45 - 11:20 ［招待講演］Role of electroless-Ni plating in high-aspect-ratio TSV fabrication for 3D integration and packaging ○Murugesan Mariappan・Takafumi Fukushima（Tohoku Univ.） (5) 11:20 - 11:55 ［招待講演］高精度デュアルダマシン加工技術 藤川 誠・山口達也（TTS）・菊地裕樹・前川 薫（TEL Technology Center, America）・河崎洋章・○飯塚洋二（東京エレクトロン） −−− 昼食 （ 95分 ） −−− (6) 13:30 - 14:20 ［特別招待講演］極微細配線の課題解決に向けた金属間化合物の可能性 ○小池淳一・チェン リンハン（東北大）・横川慎二（電通大） (7) 14:20 - 14:55 ［招待講演］真空紫外光を用いた印刷・めっきによる配線技術 ○三成剛生・李 万里・孫 晴晴・李 玲頴（物質・材料研究機構）・リュウ シューイン（鄭州大）・金原正幸（C-INK） (8) 14:55 - 15:30 ［招待講演］異種デバイスの高密度実装用極薄接合材料 ○茅場靖剛・中村雄三・鎌田 潤・河関孝志・高村一夫（三井化学） −−− 休憩 （ 20分 ） −−− (9) 15:50 - 16:25 ［招待講演］Thermal Boundary Resistance of Metal/Dielectric Interfaces in Silicon Nanowire Thermoelectric Generators ○Tianzhuo Zhan（Waseda Univ.） (10) 16:25 - 17:00 ［招待講演］裏面照射型CMOSイメージセンサにおける光学機能拡張 ○横川創造（ソニーセミコンダクタソリューションズ） −−− 閉会 （ 5分 ） −−− 一般講演：発表 15 分 招待講演：発表 30 分 ＋ 質疑応答 5 分 特別招待講演：発表 45 分 ＋ 質疑応答 5 分 ◆応用物理学会共催 ☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日 4月13日(月)～14日(火) 沖縄県青年会館 [2月12日(水)] テーマ：薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 5月29日(金) 名古屋工業大学 [3月13日(金)] テーマ：機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 【問合先】 諸岡 哲(キオクシア) Tel 059-390-7451 Fax 059-361-2739 E-mail:         oxia Last modified: 2020-01-14 19:44:24 |
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