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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 浅野 種正 (九大)
副委員長 杉井 寿博 (富士通)
幹事 川中 繁 (東芝), 安斎 久浩 (ソニー)
幹事補佐 大見 俊一郎 (東工大)

日時 2007年12月14日(金) 10:00 - 18:00
議題 シリコン関連材料の作製と評価 
会場名 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 
住所 奈良県生駒市高山町8916-5
交通案内 地下鉄中央線「学研北生駒」駅下車バス8分 または近鉄京都線高の原駅下車バス20分
http://mswebs.naist.jp/access/index.html
会場世話人
連絡先
奈良先端科学技術大学院大学 冬木隆
著作権に
ついて
以下の論文すべての著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

12月14日(金) 午前 
10:00 - 18:00
(1) 10:00-10:20 パルス急速熱処理によるNi内包フェリチンを用いた結晶成長速度の向上 SDM2007-222 越知誠弘菅原祐太三浦篤志浦岡行治冬木 隆奈良先端大)・山下一郎奈良先端大/松下電器
(2) 10:20-10:40 半導体レーザ加熱処理による浅い接合形成 SDM2007-223 鮫島俊之東京農工大)・佐野直樹ハイテックシステムズ)・内藤勝男日新イオン機器
(3) 10:40-11:00 レーザプラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果 SDM2007-224 高梨泰幸・○松尾直人上拾石和也部家 彰天野 壮宮本修治望月孝晏兵庫県立大
(4) 11:00-11:20 Poly-Si TFTにおける容量-電圧特性のシミュレーションによる解析 SDM2007-225 葛岡 毅辻 博史桐原正治鎌倉良成谷口研二阪大
(5) 11:20-11:40 抵抗変化型不揮発性メモリ用NiO薄膜における電気伝導特性 SDM2007-226 鈴木亮太須田 淳木本恒暢京大
(6) 11:40-12:00 極薄トンネル酸化膜を用いたバイオナノドットフローティングゲートMOSデバイスの充放電特性 (講演なし) 梅田朋季矢野裕司三浦篤志浦岡行治冬木 隆奈良先端大)・山下一郎奈良先端大/松下電器
  12:00-13:00 昼食 ( 60分 )
(7) 13:00-13:30 Effective Activation of Phosphorus atom in Si film using ELA SDM2007-227 Takashi NoguchiUniv. of Ryukyus
(8) 13:30-13:50 ミリ秒急速熱処理におけるSiウェハ内温度変化のその場観測 SDM2007-228 古川弘和東 清一郎岡田竜弥加久博隆村上秀樹宮崎誠一広島大
(9) 13:50-14:10 光散乱法を利用した薄膜Si1-xGex/Siの転位運動の観測 SDM2007-229 原 明人東北学院大)・田村直義中村友二富士通研
(10) 14:10-14:30 Fe3Si/Ge(111)ヘテロエピタキシャル成長の軸配向性の評価 SDM2007-230 平岩佑介京大)・安藤裕一郎熊野 守上田公二佐道泰造宮尾正信九大)・鳴海一雅原子力機構)・前田佳均京大
(11) 14:30-14:50 Xe+プレアモルファス化注入を用いたGe n+/p接合形成 福永哲也芝原健太郎広島大
(12) 14:50-15:10 共役反転格子フォトニック結晶での導波解析 SDM2007-231 國松俊佑京大)・寺井慶和阪大)・前田佳均京大
(13) 15:10-15:30 シリコン太陽電池用SiNxパッシベーション膜におけるNH3プラズマ界面改質効果 SDM2007-232 岸山友紀高橋 優大鐘章義Athapol Kitiyanan浦岡行治冬木 隆奈良先端大
  15:30-15:50 休憩 ( 20分 )
(14) 15:50-16:20 [招待講演]シリコンナノ結晶の物性と応用 藤井 稔神戸大
(15) 16:20-16:40 傾斜メサ構造とJTE領域を有する10 kV SiC PiNダイオード SDM2007-233 日吉 透京大)・堀 勉日立)・須田 淳木本恒暢京大
(16) 16:40-17:00 4H-SiC nMOSFETおよびpMOSFETに対するチャージポンピング測定 SDM2007-234 岡本 大矢野裕司畑山智亮浦岡行治冬木 隆奈良先端大
(17) 17:00-17:20 Poly-Si TFTを用いたデバイスレベルのニューラルネットワーク SDM2007-235 小野寺 亮笠川知洋小嶋明樹木村 睦龍谷大)・原 弘幸井上 聡セイコーエプソン
(18) 17:20-17:40 アルコール系溶液による強誘電体薄膜特性の焼成条件依存性 SDM2007-236 山口正樹芝浦工大)・増田陽一郎八戸工大
(19) 17:40-18:00 磁気光学空間光変調器のPoly-Si TFTによるアクティブマトリクス駆動の動作検討 SDM2007-237 大井秀夫木村 睦龍谷大)・鈴木洋一石川省吾梅澤浩光FDK)・高木宏幸金 周映内田裕久井上光輝豊橋技科大

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 西岡泰城(日本大学理工学部 精密機械工学科)
TEL047-469-6482,FAX047-467-9504
E--mail:etn-u,acmsk 


Last modified: 2007-10-30 12:12:22


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