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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2006-11-09
13:30
石川 金沢大学 スパッタ法によるAZO薄膜の作製
川上 歩野口 亨東出陽幸宮崎紳介清水英彦丸山武男岩野春男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大
 [more] CPM2006-113
pp.1-5
CPM 2006-11-09
13:55
石川 金沢大学 プラスチック基板上へのITO薄膜の作製
竹内正樹森下和哉梅津 岳中田悠介宮崎紳介清水英彦丸山武男岩野春男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大)・皆川正寛日本精機
 [more] CPM2006-114
pp.7-11
CPM 2006-08-07
14:45
岩手 岩手大学 スパッタビーム堆積法によるZnO薄膜の作製及び検討
野口 亨川上 歩東出陽幸清水英彦丸山武男岩野春男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大
 [more] CPM2006-43
pp.15-20
CPM 2005-11-12
12:35
福井 福井大学 低電圧スパッタ法によるYBCO薄膜の作製及び評価
岡田好正清水英彦森 貴志岩野春男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大)・丸山武男新潟大
本研究では,プラズマスパッタ法を用いて容易にYBCO薄膜の作製を実現できるようにするための基礎研究として,RF-DC結合... [more] CPM2005-169
pp.39-42
CPM 2005-11-12
13:00
福井 福井大学 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討
槻尾浩一竹内正樹森下和哉清水英彦丸山武男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために,RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] CPM2005-170
pp.43-48
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