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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大）  US2023-56 |
現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと... [more] | US2023-56 pp.1-6 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-60 |
B AW (Bulk Acoustic 共振子の圧電層に単結晶薄膜を用いることで、Q 値や耐電力性が向上することが期待で... [more] | US2023-60 pp.24-29 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-62 |
[more] | US2023-62 pp.35-40 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出 ○茂木彩音・柳谷隆彦（早大） US2023-63 |
QCMは生体物質相互作用の検出に適している。しかし、共振周波数の低下が生体物質相互作用による質量付加効果によるものか表面... [more] | US2023-63 pp.41-46 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-64 |
RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱... [more] | US2023-64 pp.47-52 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| US | 2023-11-27 10:50 |
静岡 | 静岡大学 | 高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） US2023-45 |
[more] | US2023-45 pp.11-16 |
| US | 2023-11-27 11:15 |
静岡 | 静岡大学 | c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数 ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-46 |
[more] | US2023-46 pp.17-22 |
| US | 2023-11-27 13:45 |
静岡 | 静岡大学 | c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ～ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ～ ○冨山直樹・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2023-49 |
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] | US2023-49 pp.34-39 |
| US | 2023-11-27 16:10 |
静岡 | 静岡大学 | 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-54 |
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR（自立薄膜共振子）とSMR（ブラッグ反射器付き共振子）である。これらの... [more] | US2023-54 pp.61-66 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］横波型RFフィルタを目指したPbTiO3圧電薄膜 ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） |
[more] | |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性 ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） |
現在普及が進んでいる第5世代移動体通信システム(5G)やその先の6G以降において、無線通信に用いられる各素子の更なる高周... [more] | |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］基地局向けRFフィルタを目指した多層圧電薄膜共振子 ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） |
現在、5Gや6Gなど高い周波数での無線通信の需要が増大し続けている。隣接した複数の周波数帯域から混線せずに受信をするため... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:40 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
非線形光学デバイスに向けたc軸平行ZnO薄膜のイオンビームアシストスパッタ成長 ○浴田航平・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大） EMT2023-21 MW2023-39 OPE2023-21 EST2023-21 MWPTHz2023-17 |
ウルツ鉱結晶のZnOやAlNは、中赤外域で透明であり、非線形光学効果を使ったレーザ波長変換デバイスへの応用が期待できる。... [more] | EMT2023-21 MW2023-39 OPE2023-21 EST2023-21 MWPTHz2023-17 pp.67-70 |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-21 13:25 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 ○島野耀康（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの... [more] | EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 pp.241-242 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
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