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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, ED (共催) (ワークショップ) |
2012-06-27 17:45 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | Effective Annealing of Si Films as an advanced LTPS ○Takashi Noguchi・Takuma Nishinohara・Jean de Dieu Mugiraneza・Katsuya Shirai・Tatsuya Okada（Univ. Ryukyus） |
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| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 16:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 青色半導体レーザアニールによる薄膜シリコンの結晶状態の制御 ○白井克弥・ムジラネザ ジャン ドュ デュ・鈴木俊治・岡田竜弥・野口 隆（琉球大）・松島英樹・橋本隆夫・荻野義明・佐保田英司（日立コンピュータ機器）  SDM2012-7 OME2012-7 |
[more] | SDM2012-7 OME2012-7 pp.33-36 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 16:30 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化 ○岡田竜弥・ムジラネザ ジャン ドュ デュ・白井克弥・鈴木俊治・野口 隆（琉球大）・松島英紀・橋本隆夫・荻野義明・佐保田英司（日立コンピュータ機器） SDM2012-8 OME2012-8 |
色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶... [more] | SDM2012-8 OME2012-8 pp.37-39 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 11:30 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | RFスパッタ法により製膜したSiO2及びSiN薄膜の電気特性評価 ○屋宜佳佑・岡田竜弥・野口 隆（琉球大） SDM2012-17 OME2012-17 |
RFスパッタリングによってSi基板上にSiO2、SiN膜を100 nm製膜した。その後、熱アニールを施し、アニール前後の... [more] | SDM2012-17 OME2012-17 pp.75-77 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 11:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 高性能ポリシリコンTFTに向けたスパッタ成膜したリンドープシリコン膜の結晶化 ○西ノ原拓磨・ジャン デデュウ ムジラネザ・白井克弥・鈴木俊治・岡田竜弥・野口 隆（琉球大）・大鉢 忠（同志社大）・松島英紀・橋本隆夫・荻野義明・佐保田英司（日立コンピュータ機器） SDM2012-18 OME2012-18 |
スパッタ条件を工夫して室温で成膜したリンドープシリコン膜に対して, 青色半導体レーザアニーリング（BLDA）による熱処理... [more] | SDM2012-18 OME2012-18 pp.79-82 |
| ITE-IDY, EID (連催) |
2011-11-29 11:00 |
東京 | 機械振興会館 | IMID TFT関連報告 ○野口 隆（琉球大） |
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| ED, SDM (共催) |
2010-07-02 10:00 |
東京 | 東工大 大岡山キャンパス | レーザー、熱アニーリング後のドープSi膜の電気的活性化 野口 隆・○鈴木俊治（琉球大） ED2010-85 SDM2010-86 |
ドープしたアモルファスSi膜に対して、RTA、レーザーアニールを施し有効な結晶化を行った。得られた膜の電気的（４探針法、... [more] | ED2010-85 SDM2010-86 pp.149-153 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 11:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | a-Si、c-Si薄膜pinフォトセンサのi層長さ依存性に関するシミュレーション ○坂本明典・野口 隆（琉球大）・大鉢 忠（同志社大）・大城文明・ジョン デ ディウ ムジラネザ（琉球大） SDM2010-5 OME2010-5 |
水素化アモルファスシリコン（a-Si:H）と単結晶シリコン（c-Si）のPINフォトセンサにおいて、光電流の照射強度とi... [more] | SDM2010-5 OME2010-5 pp.19-22 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 13:30 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | Poly-Si TFTのS値としきい値に対するグレインサイズの影響 ○大城文明・坂本明典・野口 隆（琉球大）・大鉢 忠（同志社大） SDM2010-7 OME2010-7 |
グレインサイズを用いたポリSi膜の欠陥モデルを提案する。TFTにおいて、ポリSiのグレインサイズは重要なパラメータの1つ... [more] | SDM2010-7 OME2010-7 pp.29-32 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 13:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | フォトセンサダイオードのためのスパッタ法によるSi膜の特性 ○ムジラネザ ジョンドゥジュ・宮平知幸・坂本明典・野口 隆（琉球大）・Ching-Ping Chiu・Meng-Hsin Chen・Wen-Chang Yeh（国立台湾科技大） SDM2010-8 OME2010-8 |
[more] | SDM2010-8 OME2010-8 pp.33-37 |
| SDM, ED (共催) |
2009-06-25 11:45 |
海外 | 海雲台グランドホテル（釜山、韓国） | Si薄膜への有効な熱処理 ○野口 隆・宮平知幸・陳 訳・ジャン ムギラネーザ（琉球大） ED2009-85 SDM2009-80 |
[more] | ED2009-85 SDM2009-80 pp.153-156 |
| OME, SDM (共催) |
2009-04-24 16:40 |
佐賀 | 産総研九州センター大会議室 | p型Si薄膜の結晶化と電気特性 ○野口 隆・宮平和幸（琉球大）・鈴木俊治（SEN） SDM2009-6 OME2009-6 |
[more] | SDM2009-6 OME2009-6 pp.25-28 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 10:35 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ガラス基板上の不純物ドープSi薄膜のアニールによる電気的活性化 ○野口 隆・宮平知幸・川井健司（琉球大）・鈴木俊治・佐藤正輝（SEN） SDM2008-4 OME2008-4 |
高濃度にホウ素やリンをドープしたSi薄膜に対して、紫外光でパルスであるエキシマレーザアニール(ELA)が施され、その導電... [more] | SDM2008-4 OME2008-4 pp.17-22 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 11:25 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | UV/可視ラマン分光法によるレーザー結晶化ポリシリコン薄膜の応力・結晶性の評価 ○掛村康人・小瀬村大亮・小椋厚志（明大）・野口 隆（琉球大） SDM2008-6 OME2008-6 |
低温ポリシリコン（LTPS）薄膜はシステムオングラス実現のためのキーマテリアルである。我々は、高精度・高空間分解能をもつ... [more] | SDM2008-6 OME2008-6 pp.27-32 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-12 10:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 次世代TFTに向けたa-Ge/石英の低温固相成長 ○中尾勇兼・都甲 薫（九大）・野口 隆（琉球大）・佐道泰造（九大） SDM2008-17 OME2008-17 |
石英上における非晶質Ge薄膜の低温固相成長(≦500℃)を検討した。ラマン散乱分光測定より、多結晶Ge薄膜には伸張歪み(... [more] | SDM2008-17 OME2008-17 pp.83-88 |
| SDM | 2007-12-14 13:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 高濃度Si薄膜中の不純物活性化 ○野口 隆（琉球大） SDM2007-227 |
[more] | SDM2007-227 pp.23-26 |
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