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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大）  US2023-56 |
現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと... [more] | US2023-56 pp.1-6 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出 ○茂木彩音・柳谷隆彦（早大） US2023-63 |
QCMは生体物質相互作用の検出に適している。しかし、共振周波数の低下が生体物質相互作用による質量付加効果によるものか表面... [more] | US2023-63 pp.41-46 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-64 |
RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱... [more] | US2023-64 pp.47-52 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| US | 2023-11-27 16:10 |
静岡 | 静岡大学 | 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-54 |
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR（自立薄膜共振子）とSMR（ブラッグ反射器付き共振子）である。これらの... [more] | US2023-54 pp.61-66 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性 ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） |
現在普及が進んでいる第5世代移動体通信システム(5G)やその先の6G以降において、無線通信に用いられる各素子の更なる高周... [more] | |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］基地局向けRFフィルタを目指した多層圧電薄膜共振子 ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） |
現在、5Gや6Gなど高い周波数での無線通信の需要が増大し続けている。隣接した複数の周波数帯域から混線せずに受信をするため... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性 ○李 嵩・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大） US2022-64 |
AlNやGaN圧電薄膜を用いたバルク弾性波（BAW）共振子は、高い音速と低い機械的損失を持つため、マイクロ波通信用のGH... [more] | US2022-64 pp.74-79 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定 ○近藤圭太・石井直輝・鈴木基嗣（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-65 |
一般的に音響ブラッグ反射器の特性評価には、ブラッグ反射層上に圧電薄膜を形成したSMR構造におけるインピーダンス特性が用い... [more] | US2022-65 pp.80-85 |
| US | 2022-01-25 11:25 |
ONLINE | オンライン開催 | c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ ○泉 航太・柳谷隆彦（早大） US2021-59 |
弾性表面波(SAW)の送受波によって駆動するトランスバーサル型フィルタは振幅特性と位相特性の独立制御、フォトリソグラフィ... [more] | US2021-59 pp.5-10 |
| US | 2021-11-26 14:15 |
ONLINE | オンライン開催 | スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ ○岩田直也・柳谷隆彦（早大） US2021-43 |
医療用超音波診断装置には電気機械結合係数 k33 2 が大きい PZT (Pb(Zr, Ti)O3)セラミックや PM... [more] |
US2021-43 pp.19-24 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| US | 2020-11-05 15:45 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較 ○五月女 巧・柳谷隆彦（早大） US2020-49 |
移動体通信では大電力化していく傾向にあり、BAWフィルタへの大電力信号の投入は、二次高調波 (H2) 発生 (Secon... [more] | US2020-49 pp.34-39 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| US | 2020-09-28 15:15 |
ONLINE | オンライン開催 | 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較 ○龍見亮汰・柳谷隆彦（早大） US2020-37 |
電気機械結合係数(kt2)は圧電薄膜デバイスの性能を決定づけるパラメータの1つである。例えば、kt2が大きいほど、スマー... [more] | US2020-37 pp.57-60 |
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