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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2006-06-22
09:00
広島 広島大学, 学士会館 Si(110)とSi(100)表面の初期酸化過程の違い ~ リアルタイム光電子分光測定から ~
末光眞希加藤 篤富樫秀晃今野篤史東北大)・寺岡有殿吉越章隆原子力機構)・成田 克九工大
Si(110)-16´2 表面の初期酸化過程をリアルタイム光電子分光法により評価し,Si(100)面酸化と比較した.Si... [more] SDM2006-52
pp.61-63
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