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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
SDM
2006-06-22
09:50
広島
広島大学, 学士会館
直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性
○
樋口正顕
（
東北大
）・
品川誠治
（
武蔵工大
）・
寺本章伸
（
東北大
）・
野平博司
（
武蔵工大
）・
服部健雄
（
東北大/武蔵工大
）・
池永英司
（
高輝度光科学研究センター
）・
須川成利
・
大見忠弘
（
東北大
）
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SDM2006-54
pp.71-76
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