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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
EA, US
(併催)
2012-01-27
15:30
大阪 関西大学 キャビテーション環境下における光ファイバハイドロホンの適用可能性の検討
巽 敏之菊池 圭小池義和芝浦工大)・鈴木一成カイジョーUS2011-102
 [more] US2011-102
pp.97-100
US 2009-09-29
15:45
北海道 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 導波路型超音波洗浄機の音圧分布解析
小池義和芝浦工大)・鈴木一成芝浦工大/カイジョー)・鈴木健太町田竜太芝浦工大)・潘 毅岡野勝一副島潤一郎芝浦工大/カイジョーUS2009-44
筆者らは側面から音波を照射可能で基板ダメージの低減可能性のある導波路管型超音波洗浄機を提案している。導波路管型超音波洗浄... [more] US2009-44
pp.37-40
ED 2009-06-11
13:50
東京 東京工業大学 導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄
鈴木一成カイジョー/芝浦工大)・潘 毅岡野勝一副島潤一郎カイジョー)・小池義和芝浦工大ED2009-37
半導体枚葉洗浄において,石英導波路管を伝搬体とした新しい超音波洗浄機用振動子を提案する.中実棒を伝搬体とした場合,超音波... [more] ED2009-37
pp.7-10
US 2009-04-24
15:45
東京 電気通信大学 導波路管型超音波洗浄機用振動子の開発
鈴木一成芝浦工大/カイジョー)・小池義和芝浦工大)・潘 毅岡野勝一副島潤一郎カイジョーUS2009-5
半導体ウェーハの枚葉洗浄処理にスピン洗浄機が使用されており,1MHz 程度の流水式高周波超音波振動子は微粒子除去に有効で... [more] US2009-5
pp.23-28
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