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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2015-10-29
14:00
宮城 東北大学未来研 [招待講演]イオン注入技術の現状と課題
中島良樹濱本成顕酒井滋樹おの田 博日新イオン機器SDM2015-71
 [more] SDM2015-71
pp.1-6
SDM 2014-01-29
10:50
東京 機械振興会館 [招待講演]高信頼メタル/high-k CMOS SOI FinFETsのための高温イオン注入技術
水林 亘産総研)・おの田 博中島良樹日新イオン機器)・石川由紀松川 貴遠藤和彦Yongxun Liu大内真一塚田順一山内洋美右田真司森田行則太田裕之昌原明植産総研SDM2013-138
高温イオン注入がメタルゲート/high-k CMOS SOI FinFETsの性能及び信頼性に及ぼす影響について調べた。... [more] SDM2013-138
pp.13-16
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