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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
LQE, CPM, ED
(共催)
2017-12-01
12:30
愛知 名古屋工業大学 リモートO2プラズマ支援CVD SiO2/GaN(0001)の化学結合状態及び電気特性評価
グェンスァン チュン名大)・田岡紀之産総研)・大田晃生名大)・山田 永高橋言緒産総研)・池田弥央牧原克典名大)・清水三聡産総研)・宮崎誠一名大ED2017-61 CPM2017-104 LQE2017-74
SiH4とリモート酸素プラズマ用いたCVD(ROPE-CVD)によって形成したSiO2/GaN構造に対して、600から8... [more] ED2017-61 CPM2017-104 LQE2017-74
pp.61-64
SDM 2016-06-29
14:45
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 リモート酸素プラズマ支援CVDによる低温SiO2薄膜形成
グェンスァン チュン藤村信幸竹内大智大田晃生牧原克典池田弥央宮崎誠一名大SDM2016-41
SiH4と励起したAr希釈O2を用いたリモート酸素プラズマ支援CVD(O2-RPCVD)により水素終端したSi表面上にS... [more] SDM2016-41
pp.49-52
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