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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2023-11-27
13:45
静岡 静岡大学 (静岡県) c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ~ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ~
冨山直樹高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2023-49
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] US2023-49
pp.34-39
US 2020-11-05
13:00
愛知 愛知工業大学 八草キャンパス (愛知県) 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海髙柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2020-43
ScAlN薄膜は,AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから,弾性波デバイスへの応用が期待されている.ScAlN... [more] US2020-43
pp.1-6
US 2020-09-28
14:50
ONLINE オンライン開催 (オンライン) ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響
木原流唯早大)・高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2020-36
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] US2020-36
pp.51-56
US 2019-07-29
15:45
北海道 北海道大学 (北海道) ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉高柳真司松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大US2019-34
厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため,液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することがで... [more] US2019-34
pp.33-37
US 2018-11-02
15:20
愛知 愛知工業大学 (愛知県) 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜
篁 佑太同志社大)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大US2018-68
弾性波の一つであるSH型SAWは,液体へのエネルギー漏洩が少なく,液体の粘度や導電率,誘電率を測定可能である.一方,高感... [more] US2018-68
pp.25-30
US 2018-10-04
13:05
宮城 東北大学 (宮城県) c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
矢崎 花五月女 巧唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・吉田憲司千葉大)・柳谷隆彦早大US2018-54
小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効... [more] US2018-54
pp.31-35
US 2018-10-04
13:30
宮城 東北大学 (宮城県) 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~
唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・遠藤結佳早大)・今川 誠森坂啓介鈴木 雄フルヤ金属)・柳谷隆彦早大US2018-55
 [more] US2018-55
pp.37-42
US, EA
(併催)
2018-01-23
13:00
大阪 関西大学 (大阪府) [ポスター講演]MHz域における皮質骨の逆圧電効果の実験的検討
牧野大輝森 駿貴中西翔子小山大介同志社大)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大US2017-91
MHz域の超音波照射により,骨の癒合期間が短縮される要因の一つとして骨の圧電性が指摘されている.これまで我々は骨を圧電材... [more] US2017-91
pp.51-54
US 2017-07-27
16:40
岡山 岡山大学 (岡山県) コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化
川部昌彦同志社大)・柳谷隆彦早大)・柴垣慶明同志社大)・高柳真司名工大)・鈴木雅視早大)・松川真美同志社大US2017-44
Brillouin散乱法は薄膜や透明材料などの音速を非破壊・非接触で測定できる技術であり,数100MHz~GHz域の縦波... [more] US2017-44
pp.71-74
EA, US
(併催)
2017-01-25
10:30
京都 同志社大学 室町キャンパス 寒梅館 (京都府) [ポスター講演]骨コラーゲンのMHz域の圧電性に関する実験的検討
森 駿貴松川沙弥果寺木 瞳高野幸樹坂田祥崇同志社大)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大US2016-80
 [more] US2016-80
pp.43-46
US 2016-06-10
14:15
富山 富山大学 五福キャンパス (富山県) 超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討
森 駿貴松川沙弥果坂田祥崇同志社大)・眞野 功応用電機)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大US2016-25
超音波骨折治療法におけるメカニズム解明のため,骨の超音波誘発電位について検討する.これまで我々は骨を圧電材料とみなして超... [more] US2016-25
pp.35-38
US, EA
(併催)
2016-01-29
14:30
大阪 関西大学 100周年記念会館 (大阪府) 広帯域超音波発生のための電気音響変換素子-Thermophone-に関する基礎的検討
西岡卓哉高柳真司ブルギエール オリヴィエ松川真美同志社大)・浅田隆昭村田製作所)・飛龍志津子同志社大US2015-102 EA2015-65
Thermophoneとは,金属薄膜に交流電圧を印加すると,発生するジュール熱の時間変化によって薄膜近傍の空気が膨張・収... [more] US2015-102 EA2015-65
pp.105-110(US), pp.63-68(EA)
US 2015-10-09
15:50
石川 金沢工業大学 (石川県) ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱
趙 恩慧川部昌彦高柳真司同志社大)・鈴木雅視柳谷隆彦早大)・松川真美同志社大US2015-63
Brillouin散乱とは,入射したフォトンと物質内の熱的な格子振動であるフォノンとの非弾性衝突により,入射光の周波数が... [more] US2015-63
pp.27-30
US 2015-09-03
14:30
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
(北海道)
c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用
日山彰子同志社大)・柳谷隆彦早大)・高柳真司松川真美同志社大US2015-49
SH波は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため,導電率や粘度などが測定可能である.これまでに我々は,c軸平行配向ZnO膜を... [more] US2015-49
pp.19-24
US 2015-09-03
15:20
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
(北海道)
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用
高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大)・Jean-Claude GerbedoenAbdelkrim TalbiIEMN)・松川真美同志社大)・Philippe PernodIEMNUS2015-50
ZnO薄膜はSAWフィルタなど様々な圧電デバイスに応用されてきたが,その多くは(0001)面に優先配向を持つ.一方,(1... [more] US2015-50
pp.25-30
US 2015-09-03
15:50
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
(北海道)
イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数
岡 峰生高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大)・松川真美同志社大US2015-51
近年,Scを43%ドープしたAlN薄膜の圧電定数d33が5倍に増加すると報告された.我々は,これまでにc軸垂直配向ScA... [more] US2015-51
pp.31-35
US 2015-09-03
16:20
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
(北海道)
共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性
柳谷隆彦早大)・市橋隼人同志社大)・鈴木雅視早大)・高柳真司松川真美同志社大US2015-52
 [more] US2015-52
pp.37-42
US 2015-09-04
09:00
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
(北海道)
顕微Brillouin散乱法を用いた皮質骨中の音速測定
井本有紀高柳真司同志社大)・斎藤 充丸毛啓史東京慈恵会医科大)・松川真美同志社大US2015-53
骨は複雑な階層構造を持ち,ハイドロキシアパタイト(HAp)結晶やコラーゲンからなる不均一な複合材料である.そのため,骨強... [more] US2015-53
pp.43-46
US 2015-06-19
14:10
熊本 熊本大学 (熊本県) Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定
富田昇太同志社大)・柳谷隆彦鈴木雅視早大)・高柳真司松川真美同志社大US2015-20
Brillouin散乱法は試料中を伝搬する音速および屈折率を測定する技術として知られている.この手法は非破壊・非接触で測... [more] US2015-20
pp.23-28
US 2014-09-29
14:35
山形 山形大学 米沢キャンパス (山形県) 超音波により励起される骨中電位の極性について
常田裕子松川沙弥果眞野 功同志社大)・水野勝紀東大)・柳谷隆彦名工大)・高柳真司松川真美同志社大US2014-46
超音波骨折治療のメカニズム解明のための第一歩として,超音波照射時の骨の誘発電位について検討する.これまで我々のグループは... [more] US2014-46
pp.19-22
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