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 37件中 1~20件目  /  [次ページ]  
研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2024-02-29
13:45
山形 山形大学工学部
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜へのO添加の効果
山崎雄也鈴木裕史小林康之中澤日出樹弘前大CPM2023-105
(ご登録済みです.開催日以降に掲載されます) [more] CPM2023-105
pp.38-41
MRIS, CPM, OME
(共催)
ITE-MMS
(連催) [詳細]
2023-10-27
10:30
新潟 新潟大学(駅南キャンパスときめいと)
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の機械的特性および耐熱性
山崎雄也佐々木祐弥中澤日出樹弘前大MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
希釈ガスにH2およびArを用いたプラズマ化学気相成長法によりシリコンおよび窒素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(S... [more] MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
pp.33-36
CPM 2023-08-01
09:45
北海道 北見工業大学
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
3°オフ角Si(110)基板上へのSiC/AlN多層構造の作製およびグラフェンの形成
齋藤遼佑奈良友奎葛西大希郡山春人遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2023-19
3 ̊オフ角Si(110)基板上にパルスレーザーアブレーション(PLD)法によりAlN薄膜を作製し、AlN上にモノメチル... [more] CPM2023-19
pp.29-32
CPM 2023-02-28
11:30
東京 東京工科大学 + オンライン開催
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
水素ガスを用いたマグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素薄膜の光起電力特性
西田竜也佐藤聖能小林康之遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2022-94
 [more] CPM2022-94
pp.35-38
CPM 2022-08-04
16:15
北海道 北見工業大学 マグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素膜特性への水素ガスの効果
西田竜也谷口 颯佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2022-15
炭化ホウ素(B4C)ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタ法によりアモルファスB4C薄膜およびH2を導入して水素化ア... [more] CPM2022-15
pp.14-17
CPM 2021-10-27
13:20
ONLINE オンライン開催 プラズマ化学気相成長法によるSi及びN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の光学的特性および電気的特性に及ぼすH₂及びAr希釈の効果
佐々木祐弥長内公哉大谷優介室野優太佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史中澤日出樹弘前大CPM2021-26
希釈ガスにAr及びH₂を用いたプラズマ化学気相成長法によりケイ素(Si)及び窒素(N)を添加したダイヤモンドライクカーボ... [more] CPM2021-26
pp.23-28
CPM 2020-10-29
13:40
ONLINE オンライン開催 AlN/Si(110)基板上SiCエピタキシャル成長におけるSiC低温バッファ層の効果
葛西大希奈良友奎中澤日出樹弘前大CPM2020-13
 [more] CPM2020-13
pp.7-10
CPM 2020-10-29
15:10
ONLINE オンライン開催 マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果
谷口 颯郡山春人小林康之遠田義晴弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2020-17
 [more] CPM2020-17
pp.23-26
CPM 2019-11-07
15:00
福井 福井大学 文京キャンパス 窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
長内公哉中村和樹郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2019-46
希釈ガスにH2を用いたプラズマ化学気相成長法により窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(N-DLC)膜を作製し、真空... [more] CPM2019-46
pp.9-14
CPM 2019-08-26
15:50
北海道 北見工業大学 1号館2F A-207講義室 オフ角Si(110)基板上AlN層の形成とその上へのSiCヘテロエピタキシャル成長
中澤日出樹奈良友奎葛西大希弘前大CPM2019-42
これまで、AlN/Si基板上にSiC低温バッファ層を形成しその上にSiC薄膜を成長させた後、高温加熱を施すことでグラフェ... [more] CPM2019-42
pp.23-28
CPM 2019-02-28
15:25
東京 電通大 炭素系薄膜の作製と評価
中澤日出樹弘前大CPM2018-109
 [more] CPM2018-109
pp.37-40
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大CPM2018-52
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2018-08-09
14:30
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
中村和樹大橋 遼弘前大)・横山 大田島圭一郎遠藤則史末光眞希東北大)・遠田義晴小林康之鈴木裕史・○中澤日出樹弘前大CPM2018-8
希釈ガスにH_2を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したSi添加DLC(Si-DLC)薄膜の化学結合状態、電気的・光... [more] CPM2018-8
pp.1-6
CPM 2018-08-09
14:50
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/AlN/Si(110)基板上グラフェンの成長
中澤日出樹成田舜基奈良友奎遠田義晴弘前大CPM2018-9
3ºオフ角を有するSi(110)基板上に、レーザーアブレーション法を用いて様々な成長条件でAlN薄膜を作製した結果、レー... [more] CPM2018-9
pp.7-12
CPM 2018-08-09
15:10
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/SiCバッファ層/AlN/Si(110)多層構造におけるSiCバッファ層形成条件の検討
奈良友奎工藤あさひ中澤日出樹弘前大CPM2018-10
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法により3ºオフ角Si(110)基板上にAlN層を成長させ、AlN層上にモ... [more] CPM2018-10
pp.13-16
CPM 2018-08-09
16:05
青森 弘前大学文京町地区キャンパス 真空蒸着法によるBi媒介Geナノドットの形成機構の検討
対馬和都滝田健介中澤日出樹弘前大)・俵 毅彦舘野功太章 国強後藤秀樹NTT)・池田高之水野誠一郎NTT-AT)・岡本 浩弘前大CPM2018-12
 [more] CPM2018-12
pp.21-24
R, EMD, CPM, LQE, OPE
(共催)
2017-08-31
13:55
青森 弘前文化センター レーザーアブレーション法によるSiCバッファ層を用いたAlN/Si(110)基板上へのSiCエピタキシャル成長
奈良友奎成田舜基中澤日出樹弘前大R2017-25 EMD2017-19 CPM2017-40 OPE2017-49 LQE2017-22
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法により3°オフ角Si(110)基板上にAlN層を成長させ、AlN層上にモ... [more] R2017-25 EMD2017-19 CPM2017-40 OPE2017-49 LQE2017-22
pp.7-10
CPM 2015-08-10
13:20
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 レーザーアブレーション法によるAlN/Si(110)基板上SiC薄膜の作製と評価
目黒一煕成田舜基・○中澤日出樹弘前大CPM2015-31
AlN/Si(110)基板上にSiC低温バッファ層を形成後、その層上にレーザーアブレーション法により基板温度およびレーザ... [more] CPM2015-31
pp.1-5
CPM 2015-08-10
13:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性への基板バイアスの影響
土屋政人村上和輝佐藤達人高見貴弘遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2015-32
CH4、N2および希釈ガスとしてArを用い、基板バイアスにパルスバイアスを用いたRFプラズマCVD法により、基板パルスバ... [more] CPM2015-32
pp.7-10
CPM 2015-08-10
14:00
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 レーザーアブレーション法によるAlN/Si(110)基板上へのSiC成長
成田舜基目黒一煕中澤日出樹弘前大CPM2015-33
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法によりSi(110)基板上にAlN層を形成し、結晶性および表面モフォロジ... [more] CPM2015-33
pp.11-14
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