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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2014-02-28
13:50
東京 機械振興会館 [招待講演]インプラント法によるカーボンナノチューブプラグの作製とスパッタアニール法による多層グラフェン配線の接合
佐藤元伸高橋 慎二瓶瑞久佐藤信太郎横山直樹産総研SDM2013-170
カーボンナノチューブ(CNT)を微細孔に転写・移植(インプラント)する新たなプロセスを開発した。LSIのプラグやビア、T... [more] SDM2013-170
pp.29-33
SDM 2013-02-04
10:05
東京 機械振興会館 排熱TSVへ向けたナノカーボン材料の熱特性評価
川端章夫二瓶瑞久村上 智佐藤元伸横山直樹産総研SDM2012-150
我々はナノカーボン材料のLSI排熱応用を目指している。今回、新規な高密度垂直および水平方向グラフェン (DVHG) 構造... [more] SDM2012-150
pp.1-4
SDM 2012-03-05
13:00
東京 機械振興会館 ラマン分光法およびXPSによるSiO2/Si基板上での多層グラフェン成長初期の研究
尾白佳大小川修一東北大)・犬飼 学高輝度光科学研究センター)・佐藤元伸産総研)・池永英司室 隆桂之高輝度光科学研究センター)・二瓶瑞久産総研)・高桑雄二東北大)・横山直樹産総研SDM2011-179
光電子制御プラズマCVDはグラファイト材料を低温成長 (~400 ℃) 、触媒無し、大面積で成長できる有力な手法である。... [more] SDM2011-179
pp.19-24
SDM 2011-02-07
13:10
東京 機械振興会館 光電子制御プラズマCVDによるナノグラファイト成長:結晶性の放電条件依存
小川修一東北大/JST)・佐藤元伸富士通/JST)・角 治樹東北大)・二瓶瑞久富士通/JST)・高桑雄二東北大/JSTSDM2010-220
グラフェンを低温(400℃以下)、触媒無し、大面積成長させるため、我々は光電子制御プラズマを開発した。本研究では光電子制... [more] SDM2010-220
pp.25-30
SDM 2011-02-07
14:10
東京 機械振興会館 光電子制御プラズマCVD法で成膜したネットワークナノグラファイト配線
佐藤元伸富士通/JST/産総研)・小川修一東北大/JST)・池永英司高輝度光科学研究センター/JST)・高桑雄二東北大/JST)・二瓶瑞久富士通/JST/産総研)・横山直樹産総研SDM2010-222
Cuに代わる新たなLSI配線材料として、多層グラフェンを検討している。多層グラフェンはCuより低い抵抗率、高い熱伝導率、... [more] SDM2010-222
pp.37-42
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