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SDM 2020-10-22
15:20
ONLINE オンライン開催 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析
今泉文伸仲田陸人小山高専SDM2020-20
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス、センサは現在様々な分野で使用されているが、主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] SDM2020-20
pp.30-33
SDM 2019-10-24
13:50
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F 新しい圧電材料BiFeO3の薄膜形成技術と基板依存性
今泉文伸仲田陸人小山高専SDM2019-63
鉛が含まれていない圧電材料であるBiFeO3 (BFO)薄膜を、スパッタリングと酸素ラジカル処理を組み合わせて成膜した。... [more] SDM2019-63
pp.51-54
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