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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2023-02-07
13:20
東京 東京大学 武田ホール
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]BSIピクセルピッチハイブリッド接合および3層積層技術
谷田一真鈴木 繁瀬尾俊紀森永泰規興梠隼人手谷道成浜田政一江藤竜二山下武志加藤靖啓佐藤直昭清水但美塙 哲郎久保裕子伊藤史隆野口佳裕中村成志水越隆司竹内雅彦鈴木政勝新添真人宮永 績池田 敦松本 晋パナソニック・タワージャズセミコンダクターSDM2022-88
裏面照射型(BSI)イメージセンサに用いるピクセルピッチハイブリッド接合(1.35µm)およびフルハイブリッド接合による... [more] SDM2022-88
pp.13-16
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