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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2010-10-22 11:40 |
宮城 | 東北大学 | 高性能LTPS-TFTのためのDouble-Line-Beam CLCによる高結晶配向Poly-Si薄膜形成 ○黒木伸一郎・川崎雄也・藤井俊太朗・小谷光司（東北大）・伊藤隆司（東工大/広島大）  SDM2010-163 |
石英基板上にレーザ結晶化により3軸配向性の高いPoly-Si薄膜を形成した。連続発振レーザを用い、ビームスポットを、直線... [more] | SDM2010-163 pp.45-48 |
| VLD, DC, IPSJ-SLDM (連催) ICD, CPM (共催) CPSY, RECONF (併催) [詳細] |
2009-12-02 11:00 |
高知 | 高知市文化プラザ | Tailbiting BIPを用いたWiMAXターボデコーダ ○新井宏明・宮本直人・小谷光司（東北大）・藤澤久典（富士通研）・伊藤隆司（東北大） CPM2009-136 ICD2009-65 |
本稿では、WiMAX用ターボデコーダにおける高スループットと高いエネルギー効率を得るための方法としてTailbiting... [more] | CPM2009-136 ICD2009-65 pp.13-18 |
| SDM | 2009-10-29 16:45 |
宮城 | 東北大学 | SOI基板を用いたSi-MESFETの電流電圧特性 ○阿部俊幸・田主裕一朗・黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2009-122 |
微細Si-MESFETについてシミュレーションを行い、新しいゲート構造によるゲートリーク電流の低減と、ダブルゲート構造に... [more] | SDM2009-122 pp.27-30 |
| SDM | 2009-10-30 11:30 |
宮城 | 東北大学 | ヒートガスアニールによるガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化 ○田主裕一朗・河野陽輔・黒木伸一郎・小谷光司（東北大）・村 直美・山上公久・古村雄二（フィルテック）・伊藤隆司（東北大） SDM2009-128 |
ガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化のための新たな手法としてヒートガスアニール法を提案し実証した。ヒートガスアニール... [more] | SDM2009-128 pp.47-50 |
| SIS | 2008-12-04 11:00 |
大阪 | 関西大学(千里山キャンパス) | UHF帯RFID向け高効率差動型整流回路 ○佐々木敦史・小谷光司・伊藤隆司（東北大） |
UHF帯RFID向けの高効率な差動型整流回路を実現した．この整流回路は差動信号により駆動し，ダイオードとして用いるMOS... [more] | SIS2008-45 pp.17-21 |
| SDM | 2008-10-09 13:30 |
宮城 | 東北大学 | ノンポーラスULK層間膜(フロロカーボン)へのダメージを抑制したCu-CMP後洗浄液の評価 ○谷 クン・根本剛直・寺本章伸・伊藤隆司・大見忠弘（東北大） SDM2008-149 |
[more] | SDM2008-149 pp.1-6 |
| SDM | 2008-10-09 14:00 |
宮城 | 東北大学 | 高精度CMP終点検出方法の検討 谷 クン・○根本剛直（東北大）・Ara Philipossian・Yasa Adi Sampurno（Univ. of Arizona/Araca）・Jiang Cheng（Araca）・Yun Zhuang（Univ. of Arizona/Araca）・寺本章伸・伊藤隆司・大見忠弘（東北大） SDM2008-150 |
[more] | SDM2008-150 pp.7-12 |
| SDM | 2008-10-09 14:30 |
宮城 | 東北大学 | エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化 ○沼田雅之・黒木伸一郎・藤井俊太朗・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2008-151 |
CWレーザアニールはガラス基板上でグレインサイズ20×2 µm2の大粒径poly-Si薄膜を得ることができ、... [more] | SDM2008-151 pp.13-16 |
| SDM | 2007-10-04 16:55 |
宮城 | 東北大学 | 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 ○黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2007-179 |
ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪... [more] | SDM2007-179 pp.23-24 |
| SDM | 2007-10-05 10:55 |
宮城 | 東北大学 | 低誘電率アモルファスハイドロカーボン（aCHx）膜の銅配線バリアー特性の検討 ○石川 拓（東京エレクトロン技研/東北大）・野沢俊久・松岡孝明（東京エレクトロン技研）・寺本章伸・平山昌樹・伊藤隆司・大見忠弘（東北大） SDM2007-183 |
近年、半導体デバイスの高集積化が進み、デバイスの高速動作の観点から配線のRC遅延を減少させるために低誘電率層間絶縁膜とC... [more] | SDM2007-183 pp.31-34 |
| ICD, SDM (共催) |
2006-08-17 14:20 |
北海道 | 北海道大学 | RF-ID向けDickson Charge Pump整流回路における接合容量効果 ○坂井靖文・小谷光司・伊藤隆司（東北大） |
[more] | SDM2006-134 ICD2006-88 pp.51-56 |
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