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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2024-01-31
14:50
東京 金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]チャージトラップ制御によるHfO-FeFETのEndurance改善
鈴木都文佐久間 究吉村瑶子市原玲華松尾和展萩島大輔藤原 実齋藤真澄キオクシアSDM2023-78
 [more] SDM2023-78
pp.17-19
SDM 2016-01-28
10:30
東京 機械振興会館 [招待講演]Advanced SPCプロセスにより形成された高移動度poly-Siナノワイヤトランジスタにおける電気輸送特性
小田 穣佐久間 究上牟田雄一齋藤真澄東芝SDM2015-121
固相成長(SPC)法におけるpoly-Si膜形成プロセスを最適化したAdvanced SPCプロセスを適用し、高性能ポリ... [more] SDM2015-121
pp.5-8
SDM 2006-06-22
10:55
広島 広島大学, 学士会館 窒素高濃度極薄SiON膜のVtb改善メカニズム
松下大介村岡浩一中崎 靖加藤弘一菊地祥子佐久間 究三谷祐一郎高柳万里子江口和弘東芝
 [more] SDM2006-56
pp.81-86
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