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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED, LQE, CPM
(共催)
2012-11-30
16:25
大阪 大阪市立大学 AlGaAs系フォトニック結晶構造作製に向けたICPドライエッチングマスクに関する研究
栂野裕二北林佑太石川史太郎近藤正彦阪大ED2012-90 CPM2012-147 LQE2012-118
フォトニック結晶作製を目指し,高Al組成のAlGaAsのICP(Inductive Coupled Plasma)ドライ... [more] ED2012-90 CPM2012-147 LQE2012-118
pp.117-120
ED 2011-07-29
16:35
新潟 長岡技術科学大学マルチメディアシステムセンター フォトニック結晶構造作製を目的とした高Al組成AlGaAs誘導結合型プラズマエッチング
北林佑太望月雅矢石川史太郎近藤正彦阪大ED2011-44
本研究ではフォトニック結晶作製を目的とした,Cl$_2$/BCl$_3$/CH$_4$を用いた高Al組成AlGaAs誘導... [more] ED2011-44
pp.35-39
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