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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
LQE, ED, CPM
(共催)
2005-10-14
11:10
滋賀 立命館大学 昇華法によるさまざまなSiC基板上へのAlN結晶成長
土屋法隆クリッシュナン バラクリッシュナン岩谷素顕上山 智天野 浩赤崎 勇名城大)・下野健二野呂匡志高木 俊イビデン)・古庄智明シクスオン
紫外発光デバイス用、高周波・高出力電子デバイス用基板としてAlN単結晶が注目されている。本研究では、昇華法を用いて、従来... [more] ED2005-145 CPM2005-132 LQE2005-72
pp.29-34
LQE, ED, CPM
(共催)
2005-10-14
11:30
滋賀 立命館大学 高品質SiCウェーハの開発
古庄智明小林良平佐々木 信林 利彦木下博之塩見 弘シクスオン
 [more] ED2005-146 CPM2005-133 LQE2005-73
pp.35-38
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